[发明专利]一种信号发生器辅助射频电源调谐方法

权利要求书

1.一种信号发生器辅助射频电源调谐方法，该方法包括：

采用信号发生器输出扫描信号进行频率扫描，找到与四极杆总成产生谐振的射频电源频率，固定射频电源频率和电感值，选择标准电容代替所述四极杆总成，通过所述标准电容的串和/或并联，使所述标准电容与所述射频电源调谐，通过计算所述标准电容的电容值得到的电容值为四极杆总成的分布电容值；再次采用所述信号发生器输出扫描信号进行频率扫描，找到调谐频率，根据公式和所述四极 杆总成的分布电容值计算电感值，调节隔离变压器模块，调整为所计算出的电感值，调节所述信号发生器输出信号,实现谱峰的调节。

2.根据权利要求1所述的一种信号发生器辅助射频电源调谐方法，其特征在于，包括：信号处理模块、内部时钟模块、功率放大模块、隔离变压器模块、四极杆总成、反馈控制模块。

3.根据权利要求2所述的一种信号发生器辅助射频电源调谐方法，其特征在于，用于产生频率可变信号且输出传输信号到所述功率放大模块的所述信号处理模块与所述功率放大模块相连接，且包括所述信号发生器、信号发生频率控制器和功率放大模块幅值控制器。

4.根据权利要求2所述的一种信号发生器辅助射频电源调谐方法，其特征在于，为所述功率放大模块提供固定频率信号且用于调节谐振频率的所述内部时钟模块与所述功率放大模块相连接。

5.根据权利要求2所述的一种信号发生器辅助射频电源调谐方法，其特征在于，用于放大所述信号处理模块输出信号且为所述隔离变压器模块提供驱动电压的所述功率放大模块与所述信号处理模块、所述隔离变压器模块、所述内部时钟模块、所述反馈控制模块相连接。

6.根据权利要求2所述的一种信号发生器辅助射频电源调谐方法，其特征在于，从所述功率放大模块获取到电压进行变压且用于驱动四极杆总成工作的所述隔离变压器模块与所述功率放大模块、四极杆总成相连接。

7.根据权利要求2所述的一种信号发生器辅助射频电源调谐方法，其特征在于，用于筛选粒子的所述四极杆总成与所述隔离变压器模块、反馈控制模块相连接。

8.根据权利要求2所述的一种信号发生器辅助射频电源调谐方法，其特征在于，用于实时检测所述隔离变压器模块输出到所述四极杆总成工作电压的所述反馈控制模块与所述功率放大模块、所述四极杆总成相连接。

9.根据权利要求2所述的一种信号发生器辅助射频电源调谐方法，其特征在于，所述隔离变压器模块包括可变射频电源空心线圈。

10.根据权利要求9所述的一种信号发生器辅助射频电源调谐方法，其特征在于，所述可变射频电源空心线圈包括线圈、堵头、支柱、垫片、磁芯和固定块。