[发明专利]一种用于快速频繁启停的超精密三轴调整装置

摘要

一种用于快速频繁启停的超精密三轴调整装置，属于超精密调整技术领域。X轴导轨座及两个X轴直线电机定子安装在花岗岩底座上面，花岗岩底座上面固定有呈矩形布置的四个X轴限位组件，X轴光栅尺安装在X轴导轨座的通槽内；X轴直线电机线圈通过X轴直线电机线圈座安装在X轴溜板上，X轴溜板滑动设置在花岗岩底座上面，Y轴导轨座固定在X轴直线电机线圈座上面，Y轴光栅尺安装在Y轴导轨座的通槽内，通槽内的两个支架上安装有Y轴限位组件，Y轴直线电机定子固定在X轴溜板上，Y轴直线电机线圈通过Y轴直线电机线圈座与Y轴溜板相对应侧面连接，Y轴溜板滑动设置在Y轴导轨座上面；Z轴精密升降台固定在Y轴溜板上面。本发明用于超精密加工中。

主权项

1.一种用于快速频繁启停的超精密三轴调整装置，其特征在于：所述的装置包括底座组件(1)、X轴气浮导轨(2)、Y轴气浮导轨(3)及Z轴精密升降台(4)；所述的底座组件(1)包括花岗岩底座(6)、X轴导轨座(8)、X轴光栅尺(9)、四个X轴限位组件(5)及两个X轴直线电机定子(7)；所述的X轴气浮导轨(2)包括X轴溜板(11)、Y轴光栅尺(13)、两个Y轴直线电机定子(12)、两个X轴直线电机线圈座(14)、两个X轴直线电机线圈(15)及两个Y轴限位组件(10)；所述的Y轴气浮导轨(3)包括Y轴溜板(16)、Y轴导轨座(33)、两个Y轴直线电机线圈座(17)及两个Y轴直线电机线圈(18)；所述的X轴导轨座(8)及两个X轴直线电机定子(7)均安装在花岗岩底座(6)上面，所述的X轴导轨座(8)位于两个X轴直线电机定子(7)中间，所述的花岗岩底座(6)上面呈矩形布置并固定有四个支座，每个所述的支座上安装有一个X轴限位组件(5)，X轴导轨座(8)中部沿X轴方向设有通槽，所述的X轴光栅尺(9)安装在X轴导轨座(8)的通槽内；所述的两个X轴直线电机线圈(15)各通过一个X轴直线电机线圈座(14)安装在X轴溜板(11)上，所述的X轴溜板(11)滑动设置在花岗岩底座(6)上面，所述的Y轴导轨座(33)固定在两个X轴直线电机线圈座(14)上面，Y轴导轨座(33)与X轴溜板(11)制为一体，Y轴导轨座(33)中部沿Y轴方向设有通槽，所述的Y轴光栅尺(13)安装在Y轴导轨座(33)的通槽内，Y轴导轨座(33)的通槽内的两端各固定有一个支架，每个支架上安装有一个Y轴限位组件(10)，所述的两个Y轴直线电机定子(12)固定在X轴溜板(11)上，工作时，X轴溜板(11)在两个X轴直线电机线圈(15)的作用下实现往复运动，并通过四个X轴限位组件(9)对X轴溜板(11)机械位置进行限位；所述的两个Y轴直线电机线圈(18)各通过一个Y轴直线电机线圈座(17)与Y轴溜板(16)相对应侧面连接，所述的Y轴溜板(16)滑动设置在Y轴导轨座(33)上面；所述的Z轴精密升降台(4)固定在Y轴溜板(16)上面。