[发明专利]一种用于快速频繁启停的超精密三轴调整装置

权利要求书

1.一种用于快速频繁启停的超精密三轴调整装置，其特征在于：所述的装置包括底座组件(1)、X轴气浮导轨(2)、Y轴气浮导轨(3)及Z轴精密升降台(4)；所述的底座组件(1)包括花岗岩底座(6)、X轴导轨座(8)、X轴光栅尺(9)、四个X轴限位组件(5)及两个X轴直线电机定子(7)；所述的X轴气浮导轨(2)包括X轴溜板(11)、Y轴光栅尺(13)、两个Y轴直线电机定子(12)、两个X轴直线电机线圈座(14)、两个X轴直线电机线圈(15)及两个Y轴限位组件(10)；所述的Y轴气浮导轨(3)包括Y轴溜板(16)、Y轴导轨座(33)、两个Y轴直线电机线圈座(17)及两个Y轴直线电机线圈(18)；

所述的X轴导轨座(8)及两个X轴直线电机定子(7)均安装在花岗岩底座(6)上面，所述的X轴导轨座(8)位于两个X轴直线电机定子(7)中间，所述的花岗岩底座(6)上面呈矩形布置并固定有四个支座，每个所述的支座上安装有一个X轴限位组件(5)，X轴导轨座(8)中部沿X轴方向设有通槽，所述的X轴光栅尺(9)安装在X轴导轨座(8)的通槽内；

所述的两个X轴直线电机线圈(15)各通过一个X轴直线电机线圈座(14)安装在X轴溜板(11)上，所述的X轴溜板(11)滑动设置在花岗岩底座(6)上面，所述的Y轴导轨座(33)固定在两个X轴直线电机线圈座(14)上面，Y轴导轨座(33)与X轴溜板(11)制为一体，Y轴导轨座(33)中部沿Y轴方向设有通槽，所述的Y轴光栅尺(13)安装在Y轴导轨座(33)的通槽内，Y轴导轨座(33)的通槽内的两端各固定有一个支架，每个支架上安装有一个Y轴限位组件(10)，所述的两个Y轴直线电机定子(12)固定在X轴溜板(11)上，工作时，X轴溜板(11)在两个X轴直线电机线圈(15)的作用下实现往复运动，并通过四个X轴限位组件(9)对X轴溜板(11)机械位置进行限位；

所述的两个Y轴直线电机线圈(18)各通过一个Y轴直线电机线圈座(17)与Y轴溜板(16)相对应侧面连接，所述的Y轴溜板(16)滑动设置在Y轴导轨座(33)上面；所述的Z轴精密升降台(4)固定在Y轴溜板(16)上面。

2.根据权利要求1所述的一种用于快速频繁启停的超精密三轴调整装置，其特征在于：所述的Z轴精密升降台4包括升降台上板(19)、上交叉滚柱导轨(20)、楔形块(21)、Z轴光栅尺(24)、Z轴光栅尺座(25)、下交叉滚柱导轨(27)、减速器座(28)、谐波减速器(29)、伺服电机(30)、升降台下板(31)、滚珠丝杠系统(32)、四个导柱(22)、四个自润滑直线轴承(23)及四个直线轴承座(26)；

所述的楔形块21通过上交叉滚柱导轨(20)、下交叉滚柱导轨(27)分别与升降台上板(19)、升降台下板(31)相连接，所述的滚珠丝杠系统(32)与楔形块(21)紧固连接，所述的四个直线轴承座(26)安装在升降台下板(31)上面，每个所述的直线轴承座(26)上面均安装有一个所述的自润滑直线轴承(23)，安装在所述的升降台上板(19)下面的四个导柱(22)与四个自润滑直线轴承(23)做相对运动，所述的减速器座(28)安装在升降台下板(31)上，所述的谐波减速器(29)安装在减速器座(28)上，所述的滚珠丝杠系统(32)通过谐波减速器(29)与伺服电机(30)连接，所述的Z轴光栅尺座(25)安装在升降台下板(31)上面，所述的Z轴光栅尺(24)安装在Z轴光栅尺座(25)上，所述的升降台下板(31)与Y轴溜板(16)上面固定连接。