[发明专利]一种多层异靶材膜镀膜系统及其镀膜方法

摘要

本发明公开了一种多层异靶材膜镀膜系统及其镀膜方法，该系统包括真空腔体和真空获得组件，所述真空腔体包括预真空室和工艺腔体，所述工艺腔体内设有包括多个溅射靶的溅射靶组件、加热组件、清洗组件、运动导轨，所述预真空室与所述工艺腔体左右连通并采用可打开的预真空室‑工艺腔室门挡板隔断，所述真空腔体内还设有用于装载工件盘，并能运送所述工件盘于预真空室与工艺腔体之间的扫描运动小车，所述扫描运动小车可在工艺腔体内沿着运动导轨在溅射靶组件、清洗组件及加热组件之间水作平往复运动。该方法是基于上述系统所执行的工艺。本发明具有结构简单、容易操作等优点。

主权项

1.一种多层异靶材膜镀膜系统，包括真空腔体和真空获得组件，所述真空腔体包括预真空室（200）和工艺腔体（100），所述工艺腔体（100）内设有包括多个溅射靶的溅射靶组件、加热组件、清洗组件、运动导轨（118），其特征在于：所述预真空室（200）与所述工艺腔体（100）左右连通并采用可打开的预真空室-工艺腔室门挡板（116）隔断，所述真空腔体内还设有用于装载工件盘（128），并能运送所述工件盘（128）于所述预真空室（200）与所述工艺腔体（100）之间的扫描运动小车（117），所述扫描运动小车（117）可在所述工艺腔体（100）内沿着所述运动导轨（118）在所述溅射靶组件、所述清洗组件及所述加热组件之间作水平往复运动，所述真空获得组件用于对所述预真空室（200）和所述工艺腔体（100）抽真空。