[发明专利]用于钟表的柔性条形件及其制造方法

摘要

本发明涉及一种用于制造柔性条形件(1)的方法，包括：‑使用一个或多个可微加工的基底晶片形成具有所需厚度的板；‑将几何形状相同的具有上部窗口的上掩模和具有下部窗口的下掩模附接在所述板的两侧；‑从每个上部蚀刻窗口的上侧和每个下部蚀刻窗口的下侧至少蚀刻所述板至中间厚度；‑除去上掩模和下掩模，以界定出柔性条形件，所述柔性条形件具有与所述板的厚度相等的高度(H)且其边缘由此被蚀刻出。本发明还涉及用于柔性枢轴(100)、谐振器(200)、机芯(300)或手表(400)的由可微加工材料制成的柔性条形件，其在两个平行的上表面(2)和下表面(3)之间包括渐缩的和反向渐缩的两个周缘表面(4；5)。

主权项

1.一种用于制造用于钟表的至少一个直的柔性条形件(1)的方法，所述柔性条形件由可微加工材料制成，所述柔性条形件包括平行的上表面(2)和下表面(3)，所述方法至少包括以下步骤：-获取由可微加工材料制成的至少一个基底晶片，所述基底晶片包括平行的上表面和下表面；-使用单个所述基底晶片(511；811)或通过结合多个所述基底晶片(711；712)来形成具有所需厚度的板；-将包括至少一个上部窗口(513；715；813)的第一上掩模(512；714；812)附接在所述板的上表面上，并且将包括至少一个下部窗口(515；717；815)的第二下掩模(514；716；814)附接在所述板的下表面上；-以比所述所需厚度低的蚀刻深度蚀刻所述板，使得在各所述上部窗口(513；715；813)处自上侧邻近所述上表面(2)在第一高度(H1)上形成关于所述上表面(2)渐缩的第一周缘表面(4)，并且在各所述下部窗口(515；717；815)处自下侧远离所述上表面(2)且邻近所述下表面(3)形成关于所述第一周缘表面(4)反向渐缩的第二周缘表面(5)；-除去所述第一上掩模(512；714；812)和所述第二下掩模(514；716；814)，其特征在于，所述第一上掩模(512；714；812)和所述第二下掩模(514；716；814)具有相同的几何形状并且关于位于所述板的中间厚度处的中间平面对称地布置，并且所述蚀刻深度之和大于或等于所述板的厚度，以便界定至少一个直的柔性条形件(1)，所述柔性条形件的高度(H)等于所述板的厚度，而宽度(L)由所述第一上掩模(512；714；812)和所述第二下掩模(514；716；814)的轮廓限定，并且其边缘由此被蚀刻出。