[发明专利]用于钟表的柔性条形件及其制造方法

说明书

本发明涉及一种用于制造柔性条形件(1)的方法，包括：‑使用一个或多个可微加工的基底晶片形成具有所需厚度的板；‑将几何形状相同的具有上部窗口的上掩模和具有下部窗口的下掩模附接在所述板的两侧；‑从每个上部蚀刻窗口的上侧和每个下部蚀刻窗口的下侧至少蚀刻所述板至中间厚度；‑除去上掩模和下掩模，以界定出柔性条形件，所述柔性条形件具有与所述板的厚度相等的高度(H)且其边缘由此被蚀刻出。本发明还涉及用于柔性枢轴(100)、谐振器(200)、机芯(300)或手表(400)的由可微加工材料制成的柔性条形件，其在两个平行的上表面(2)和下表面(3)之间包括渐缩的和反向渐缩的两个周缘表面(4；5)。

技术领域

本发明涉及一种用于制造由可微加工材料制成的用于钟表的至少一个直的柔性条形件的方法，所述条形件包括平行的上表面和下表面，所述方法至少包括以下步骤：

-获取至少一个由可微加工材料制成的基底晶片，所述基底晶片包括平行的上表面和下表面；

-使用单个所述基底晶片或通过将多个所述基底晶片结合来形成具有所需厚度的板；

-将包括至少一个上部窗口的第一上掩模附接到所述板的上表面上，并且将包括至少一个下部窗口的第二下掩模附接到所述板的下表面上；

-以比所述所需厚度低的蚀刻深度蚀刻所述板，使得在每个所述上部窗口处自上侧渐缩，并且在每个所述下部窗口处自下侧反向渐缩；

-除去所述第一上掩模和所述第二下掩模。

本发明还涉及一种由可微加工材料制成的用于钟表的柔性条形件，所述条形件包括平行的上表面和下表面以及与所述上表面相邻的第一周缘表面，所述第一周缘表面在第一高度上关于所述上表面渐缩。

本发明还涉及一种包括多个这样的柔性条形件的柔性枢轴。

本发明还涉及一种包括至少一个这样的柔性枢轴的钟表谐振器。

本发明还涉及一种包括至少一个这样的谐振器和/或至少一个这样的柔性枢轴的钟表机芯。

本发明还涉及一种包括至少一个这样的谐振器和/或至少一个这样的柔性枢轴的手表。

本发明涉及结合了用于引导和/或弹性回复功能的柔弹性条形件——更具体地柔性枢轴装置——和谐振器的钟表机构的领域。

背景技术

可以通过将具有柔性条形件的枢轴与惯性元件如摆轮组合来制造与位置无关的并且具有很高的品质因数的用于钟表的等时谐振器。

当这种具有柔性条形件的枢轴由硅制成时，通过蚀刻技术来限制高宽比。

柔性枢轴承的使用使得可以替代摆轮的常规接触枢轴，以及弹性回复的游丝。这具有消除枢轴摩擦的优点，消除枢轴摩擦允许大幅提高谐振器的品质因数。然而，已知柔性枢轴承：

-呈现具有瞬时旋转轴线的连带运动(parasitic motion)，该连带运动使得谐振器的操作对该谐振器在重力场中的位置敏感；

-具有非线性的弹性回复转矩，该弹性回复转矩使得谐振器非等时同步——即频率取决于振荡的振幅；

-具有低的最大角偏移(约15至20度)；

-具有低的抗冲击性。

CSEM名下的欧洲专利申请2911012A1描述了这种交叉的条形件柔性枢轴，其应用了W.H.Wittrick在Aeronautical Quarterly II(1951)中述及的原理，其中条形件的交点位于条形件的长度的1/8(或7/8)处，这显著减轻了位置的影响。