[发明专利]用于去除铜表面铌镀层的化学退镀液和退镀方法有效
申请号: | 201711186414.8 | 申请日: | 2017-11-23 |
公开(公告)号: | CN108085684B | 公开(公告)日: | 2019-10-08 |
发明(设计)人: | 初青伟;谭腾;何源;郭浩;熊平然;游志明 | 申请(专利权)人: | 中国科学院近代物理研究所 |
主分类号: | C23F1/26 | 分类号: | C23F1/26 |
代理公司: | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人: | 任岩 |
地址: | 730000 甘*** | 国省代码: | 甘肃;62 |
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摘要: | 一种用于去除铜表面铌镀层的化学退镀液和退镀方法,所述化学退镀液包括:质量浓度为0.1‑0.5%的间硝基苯磺酸盐、质量浓度为1.0‑4.0%的氢氟酸和质量浓度为0.8‑2.0%的氟硼酸。本发明在不损伤铜基材表面的情况下,可以简单、迅速、稳定、完全去除铜基材表面的铌镀层,完好地回收利用已镀铌膜的铜制品。 | ||
搜索关键词: | 化学退镀液 镀层 去除 铜表面 铜基材 退镀 间硝基苯磺酸盐 回收利用 氟硼酸 氢氟酸 铜制品 损伤 | ||
【主权项】:
1.一种用于去除铜表面铌镀层的化学退镀液,由溶于水中的间硝基苯磺酸盐、氢氟酸和氟硼酸组成,其中各组分在所述化学退镀液中的浓度为:质量浓度为0.1‑0.5%的间硝基苯磺酸盐、质量浓度为1.0‑4.0%的氢氟酸和质量浓度为0.8‑2.0%的氟硼酸。
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