[发明专利]用于去除铜表面铌镀层的化学退镀液和退镀方法有效

专利信息
申请号: 201711186414.8 申请日: 2017-11-23
公开(公告)号: CN108085684B 公开(公告)日: 2019-10-08
发明(设计)人: 初青伟;谭腾;何源;郭浩;熊平然;游志明 申请(专利权)人: 中国科学院近代物理研究所
主分类号: C23F1/26 分类号: C23F1/26
代理公司: 中科专利商标代理有限责任公司 11021 代理人: 任岩
地址: 730000 甘*** 国省代码: 甘肃;62
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摘要: 一种用于去除铜表面铌镀层的化学退镀液和退镀方法,所述化学退镀液包括:质量浓度为0.1‑0.5%的间硝基苯磺酸盐、质量浓度为1.0‑4.0%的氢氟酸和质量浓度为0.8‑2.0%的氟硼酸。本发明在不损伤铜基材表面的情况下,可以简单、迅速、稳定、完全去除铜基材表面的铌镀层,完好地回收利用已镀铌膜的铜制品。
搜索关键词: 化学退镀液 镀层 去除 铜表面 铜基材 退镀 间硝基苯磺酸盐 回收利用 氟硼酸 氢氟酸 铜制品 损伤
【主权项】:
1.一种用于去除铜表面铌镀层的化学退镀液,由溶于水中的间硝基苯磺酸盐、氢氟酸和氟硼酸组成,其中各组分在所述化学退镀液中的浓度为:质量浓度为0.1‑0.5%的间硝基苯磺酸盐、质量浓度为1.0‑4.0%的氢氟酸和质量浓度为0.8‑2.0%的氟硼酸。
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