[发明专利]一种检测光学镀膜厚度的反射式光学监控方法

摘要

本发明公布了一种检测光学镀膜厚度的反射式光学监控方法，采用反射式光控控制的镀膜机进行光学镀膜，所采用的镀膜机内嵌有检测、控制镀膜厚度的控制模块和用于向所述控制模块内输入运行参数的输入端口，所述运行参数按以下规则输入：如果peak<1；输入设备参数是：start，Stop Point；如果peak＝整数；输入设备参数是：start，peak；如果peak>1and单数；输入设备参数是：start，peak，ratio1；如果peak>1and双数；输入设备参数是：start，peak，ratio2；上述peak为光控光量曲线的波峰数，start为开始光量，Stop Point为镀膜厚度到达的点，ratio1和ratio2为光控入机数据用的比值。本方法可以得到较高精度的镀膜厚度。

主权项

1.一种检测光学镀膜厚度的反射式光学监控方法，采用反射式光控控制的镀膜机进行光学镀膜，所采用的镀膜机内嵌有检测、控制镀膜厚度的控制模块和用于向所述控制模块内输入运行参数的输入端口，其特征在于，所述运行参数按以下规则输入：如果peak<1；输入设备参数是：start，Stop Point；如果peak＝整数；输入设备参数是：start，peak；如果peak>1and单数；输入设备参数是：start，peak，ratio1；如果peak>1and双数；输入设备参数是：start，peak，ratio2；上述peak为光控光量曲线的波峰数，start为开始光量，Stop Point为镀膜厚度到达的点，ratio1和ratio2为光控入机数据用的比值；所述peak＝integer(ND*4/(λ*C2))，ND为镀膜的光学厚度且ND＝Nf*d，Nf为镀膜材料折射率，λ为监控镀膜厚度时所用光的波长；C2为镀膜机镀出一个1/4倍λ的监控波长的厚度与镀出来的实际厚度的比值，d为镀膜厚度的变化量；所述Stop Point＝((Rd‑R0)/((2+C)*R0))*start*0.01+start*0.01，Rd和R0分别指镀膜变化量为d时的监控片的反射率和开始镀膜时监控片的反射率；ratio1＝[(Stop Point‑extremal point1)*100/(extremal point1‑extremal point2)]；ratio2＝[(Stop Point*‑extremal point2)*100/(extremal point2‑extremal point1)]；extremal point1为镀制过程中光控光量刚好到1个peak时产生的第一个极值点，extremal point2为光控光量刚好到2个peak时产生的第二个极值点。