[发明专利]一种检测光学镀膜厚度的反射式光学监控方法

说明书

本发明公布了一种检测光学镀膜厚度的反射式光学监控方法，采用反射式光控控制的镀膜机进行光学镀膜，所采用的镀膜机内嵌有检测、控制镀膜厚度的控制模块和用于向所述控制模块内输入运行参数的输入端口，所述运行参数按以下规则输入：如果peak<1；输入设备参数是：start，Stop Point；如果peak＝整数；输入设备参数是：start，peak；如果peak>1and单数；输入设备参数是：start，peak，ratio1；如果peak>1and双数；输入设备参数是：start，peak，ratio2；上述peak为光控光量曲线的波峰数，start为开始光量，Stop Point为镀膜厚度到达的点，ratio1和ratio2为光控入机数据用的比值。本方法可以得到较高精度的镀膜厚度。

技术领域

本发明属于光学镀膜厚度检测技术领域，尤其涉及一种检测光学镀膜厚度的光学监控方法。

背景技术

光学镀膜技术广泛应用于各行各业中，从精密光学设备、显示器设备到日常生活中的光学薄膜应用，比方说，平时戴的眼镜、数码相机、各式家电用品，或者是钞票上的防伪技术，皆能被称之为光学薄膜技术应用或者其技术上的延伸。倘若没有光学薄膜技术作为发展基础，近代光电、通讯或是激光技术将无法进展，这显示出光学薄膜技术研究发展重要性。

一般来说，要使用多层薄膜时，必须根据设计者需求，借用高低折射率薄膜堆栈技术，做为各类型光学薄膜设计之用，才能达到事先预期后评估的光学特性。比方说：抗反射镜、高反射镜、分光镜、截止滤光镜、带通滤光镜、带止滤光镜等；而在计算机分析软、硬件发展健全的今日，不仅使光学薄膜在设计上变得更为便捷，且光学薄膜技术研究发展也将更为快速。而要得到预期的薄膜效果，就要对薄膜的厚度进行控制、检测，目前主流的检测方法有两种：光学监控(目视法、反射式、透过式)和物理监控(石英晶体监控)，其中，目前的光学监控方法主要采用反射式光控控制的镀膜机，其相关检测监控原理如图1所示，利用在光学玻璃材料上镀上一层介质薄膜的过程中，介质薄膜与光学玻璃之间的光学特征(反射率和透过率)都会发生变化，通过这种变化，从理论上任意膜厚都可以找到光学特征与之对应。把光学特征的光的变化变为光信号的变化。在使用时需要向镀膜机内输入用于检测并反馈控制镀膜厚度是否精确的参数，以此来保证镀膜机镀膜厚度的准确性，在使用时，需要向反射式光控控制的镀膜机输入相关参数，目前，各个厂家输入的参数类型有多种，start为开始光量，Stop Point为镀膜厚度到达的点，ratio1和ratio2为光控入机数据用的比值，这些参数都基于现有的镀膜机内的程序模块(控制模块)进行的条件性运算，即将各自的相关参数输入到镀膜机原有的程序模块中运行，并配有专门的输入端口将上述参数中的一个或多个输入现有的程序模块，其内部运算程序较为复杂，各个厂商的设备存在一定差距，但都需要输入上述参数中的一个或几个，现有的控制程序将根据输入的参数个数与类型进行相应的自动运算，并启动相应控制程序控制执行元件运行。目前最大的问题是在使用时所输入的相应参数都是统一的一个或者几个参数，这些参数都是厂商提供的整齐划一的参数，是厂商自己拟定的一种推荐性参数标准，只是一种概念上的未做区分的条件参数输入，导致加工不同产品时，整个设备镀出的膜厚度精度不尽人意，有的由于适合输入的参数精度而镀膜精度高，而有的由于输入的参数不合理，镀膜精度较低，亟待改进。

发明内容

本发明的目的在于解决上述技术问题，提供一种检测光学镀膜厚度的反射式光学监控方法，

本发明的技术方案如下：

一种检测光学镀膜厚度的反射式光学监控方法，采用反射式光控控制的镀膜机进行光学镀膜，所采用的镀膜机内嵌有检测、控制镀膜厚度的控制模块和用于向所述控制模块内输入运行参数的输入端口，所述运行参数按以下规则输入：

如果peak<1；

输入设备参数是：start，Stop Point；

如果peak＝整数；

输入设备参数是：start，peak；