[发明专利]一种弹坑检测方法在审
| 申请号： | 201711180163.2 | 申请日： | 2017-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN107796817A | 公开（公告）日： | 2018-03-13 |
| 发明（设计）人： | 徐志华;葛建秋;张彦 | 申请（专利权）人： | 江阴苏阳电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/84 | 分类号： | G01N21/84;H01L21/66 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214400 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明的一种弹坑检测方法，用于针对产品品种、封装型号、生产设备的更换及参数调整时，对铜线产品进行弹坑检测时间，监控频率非常高。本发明的有益效果是①可重复性，使用混合酸溶液可重复使用，不需要每次制备，每周更换一次即可；②简易便捷，实验工具较少，探针或小刀、显微镜、烧杯、纯水和酒精在建和工序中都是常见的，需要时键合工序员工即可按流程操作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 弹坑 检测 方法 | ||
【主权项】：
一种弹坑检测方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤一、将键合后的制品使用刻刀将基岛取下；步骤二、在小烧杯内倒入混合酸溶液，并在电热板上加热至80℃，然后放入键合的基岛；步骤三、等待约10分钟后，将键合的基岛洗净并晾干，在200倍以上显微镜下进行判断并拍照保存，并记录；步骤四、如果弹坑无法判断，则使用20%的NaOH溶液重复步骤二至步骤三的操作。
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