[发明专利]一种弹坑检测方法在审
| 申请号： | 201711180163.2 | 申请日： | 2017-11-23 |
| 公开（公告）号： | CN107796817A | 公开（公告）日： | 2018-03-13 |
| 发明（设计）人： | 徐志华;葛建秋;张彦 | 申请（专利权）人： | 江阴苏阳电子股份有限公司 |
| 主分类号： | G01N21/84 | 分类号： | G01N21/84;H01L21/66 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 214400 江苏省*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 弹坑 检测 方法 | ||
【权利要求书】：
1.一种弹坑检测方法，其特征在于，包括如下步骤：
步骤一、将键合后的制品使用刻刀将基岛取下；
步骤二、在小烧杯内倒入混合酸溶液，并在电热板上加热至80℃，然后放入键合的基岛；
步骤三、等待约10分钟后，将键合的基岛洗净并晾干，在200倍以上显微镜下进行判断并拍照保存，并记录；
步骤四、如果弹坑无法判断，则使用20%的NaOH溶液重复步骤二至步骤三的操作。
2.根据权利要求1所述的一种弹坑检测方法，其特征在于，上述步骤一中的键合后的制品为铜线键合产品。
3.根据权利要求1所述的一种弹坑检测方法，其特征在于，上述步骤一中的混合溶酸溶液的质量比例为纯水：硝酸：磷酸：醋酸=5%：80%：5%：10%。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于江阴苏阳电子股份有限公司，未经江阴苏阳电子股份有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/pat/books/201711180163.2/1.html，转载请声明来源钻瓜专利网。
