[发明专利]一种高可靠性肖特基接触超级势垒整流器有效
| 申请号： | 201711166225.4 | 申请日： | 2017-11-21 |
| 公开（公告）号： | CN108091682B | 公开（公告）日： | 2020-05-01 |
| 发明（设计）人： | 陈文锁;廖瑞金 | 申请（专利权）人： | 重庆大学 |
| 主分类号： | H01L29/06 | 分类号： | H01L29/06;H01L29/861;H01L29/872 |
| 代理公司： | 重庆大学专利中心 50201 | 代理人： | 王翔 |
| 地址： | 400044 *** | 国省代码： | 重庆;50 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种高可靠性肖特基接触超级势垒整流器，其特征在于：包括重掺杂第一导电类型衬底层、轻掺杂第一导电类型外延层、第二导电类型注入结构、肖特基接触超级势垒整流器元包序列和上电极层。所述高可靠性肖特基接触超级势垒整流器包括注入结构和肖特基接触超级势垒整流器元包序列。所述高可靠性肖特基接触超级势垒整流器属于超级势垒整流器类型，其肖特基接触超级势垒整流器元包序列部分能够使该器件获得好的电性性能和热稳定性，其注入结构部分能够使该器件获得更好的正向浪涌可靠性能力。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 可靠性 肖特基 接触 超级 整流器 | ||
【主权项】：
1.一种高可靠性肖特基接触超级势垒整流器，其特征在于：包括下电极层(10)、重掺杂第一导电类型衬底层(20)、轻掺杂第一导电类型外延层(30)、第二导电类型注入结构(41)、肖特基接触超级势垒整流器元包序列和上电极层(90)；所述重掺杂第一导电类型衬底层(20)覆盖于下电极层(10)之上；所述轻掺杂第一导电类型外延层(30)覆盖于重掺杂第一导电类型衬底层(20)之上；所述第二导电类型注入结构(41)覆盖于轻掺杂第一导电类型外延层(30)之上的部分表面；所述肖特基接触超级势垒整流器元包序列覆盖于轻掺杂第一导电类型外延层(30)之上的部分表面；所述上电极层(90)覆盖于第二导电类型注入结构(41)和肖特基接触超级势垒整流器元包序列之上。所述上电极层(90)与第二导电类型注入结构(41)之间为欧姆接触。所述上电极层(90)与肖特基接触超级势垒整流器元包序列之间的接触至少其中一部分接触为肖特基接触。
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