[发明专利]一种干燥CST的装置在审
申请号: | 201711165985.3 | 申请日: | 2017-11-21 |
公开(公告)号: | CN108007169A | 公开(公告)日: | 2018-05-08 |
发明(设计)人: | 江乐华 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电技术有限公司 |
主分类号: | F26B21/00 | 分类号: | F26B21/00;F26B25/00 |
代理公司: | 深圳翼盛智成知识产权事务所(普通合伙) 44300 | 代理人: | 黄威 |
地址: | 430079 湖北省武汉市*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明提供一种干燥CST的装置,包括:支撑构件,所述支撑构件包括一活动部件;供气装置,设置于所述支撑构件的预设位置,用以提供干燥气体;以及移动部件,设置于所述活动部件的预设位置,用以相对CST各个槽往复移动;送气管,设置于所述移动部件上,用以通入所述干燥气体;其中,所述送气管用以在所述CST的相应位置形成气流,所述送气管包括间隔分布的送气口,一所述送气口对应所述CST的一槽口。 | ||
搜索关键词: | 一种 干燥 cst 装置 | ||
【主权项】:
1.一种干燥CST的装置,其特征在于,包括:支撑构件,所述支撑构件包括一活动部件;供气装置,设置于所述支撑构件的预设位置,用以提供干燥气体;以及移动部件,设置于所述活动部件的预设位置,用以相对CST各个槽往复移动;送气管,设置于所述移动部件上,用以通入所述干燥气体;其中,所述送气管用以在所述CST的相应位置形成气流,所述送气管包括间隔分布的送气口,一所述送气口对应所述CST的一槽口。
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