[发明专利]显影液过滤系统及显影液的过滤方法有效
| 申请号： | 201711159170.4 | 申请日： | 2017-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN109806658B | 公开（公告）日： | 2021-10-12 |
| 发明（设计）人： | 林子扬;刘朕与;张庆裕;林进祥 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | B01D36/00 | 分类号： | B01D36/00 |
| 代理公司： | 隆天知识产权代理有限公司 72003 | 代理人： | 李昕巍;章侃铱 |
| 地址： | 中国台*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 一种显影液过滤系统，包含一循环过滤模块以及一第二过滤器。循环过滤模块包含一容置槽、至少一第一过滤器以及一流体控制器。容置槽是选择地连通于一显影液供应槽，并接收来自显影液供应槽的一显影液。至少一第一过滤器是被配置以过滤循环过滤模块的一循环回路中的显影液。流体控制器是被配置以选择地输出来自第一过滤器的显影液至一检测级。第二过滤器是设置于显影液供应槽与容置槽之间或设置于流体控制器与检测级之间，并被配置以过滤来自显影液供应槽或来自第一过滤器的显影液。第二过滤器包含一高密度聚乙烯过滤膜。 | ||
| 搜索关键词： | 显影液 过滤 系统 方法 | ||
【主权项】：
1.一种显影液过滤系统，包含：一循环过滤模块，包含：一容置槽，选择地连通于一显影液供应槽，并接收来自该显影液供应槽的一显影液；至少一第一过滤器，被配置以过滤该循环过滤模块的一循环回路中的该显影液；以及一流体控制器，被配置以选择地输出来自该第一过滤器的该显影液至一检测级；以及一第二过滤器，设置于该显影液供应槽与该容置槽之间或设置于该流体控制器与该检测级之间，并被配置以过滤来自该显影液供应槽或来自该第一过滤器的该显影液，其中该第二过滤器包含一高密度聚乙烯过滤膜。
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