[发明专利]适用于数模混合电路在片测试的探卡及设计制作方法有效
| 申请号： | 201711156672.1 | 申请日： | 2017-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN108037331B | 公开（公告）日： | 2020-08-11 |
| 发明（设计）人： | 陆海燕 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第五十五研究所 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073 |
| 代理公司： | 南京君陶专利商标代理有限公司 32215 | 代理人： | 沈根水 |
| 地址： | 210016 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明是适用于数模混合电路在片测试探卡及设计制作方法，其结构包括PCB基板，陶瓷，环氧部分、各类探针和SMA接线柱；其中陶瓷，环氧部分、各类探针粘连在PCB基板上，所述的各类探针包括微波探针、直流探针、接地探针，并由微波探针、直流探针、接地探针构成具有规则倾斜的探针的探测卡来接触晶圆上的待测电路；SMA接线柱上的SMA接头连接微波探针。优点：1）实现了在一块探卡上直接传输多路微波信号及直流信号；2）实现了晶圆级数模混合电路的在片筛测，不仅提高了测试效率；同时监控芯片在晶圆上的各区域成品率。 | ||
| 搜索关键词： | 适用于 数模 混合 电路 测试 设计 制作方法 | ||
【主权项】：
1.适用于数模混合电路在片测试探卡，其特征是包括PCB基板，陶瓷，环氧部分、各类探针和SMA接线柱；其中陶瓷，环氧部分、各类探针粘连在 PCB基板上，所述的各类探针包括微波探针、直流探针、接地探针，并由微波探针、直流探针、接地探针构成具有规则倾斜的探针的探测卡来接触晶圆上的待测电路；SMA接线柱上的SMA接头连接微波探针。
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