[发明专利]适用于数模混合电路在片测试的探卡及设计制作方法

权利要求书

1.适用于数模混合电路在片测试探卡，包括PCB基板，陶瓷，环氧部分、各类探针和SMA接线柱；其中陶瓷，环氧部分、各类探针粘连在 PCB基板上，所述的各类探针包括微波探针、直流探针、接地探针，并由微波探针、直流探针、接地探针构成具有规则倾斜的探针的探测卡来接触晶圆上的待测电路；SMA接线柱上的SMA接头连接微波探针；

所述的适用于数模混合电路在片测试探卡的设计制作的方法，其特征是包括如下步骤：

1）在PCB基板上粘连陶瓷、环氧部分和微波探针、直流探针、接地探针，由微波探针、直流探针、接地探针构成了具有规则倾斜的探针的探测卡来接触晶圆上的待测电路；

2）在 PCB板上先连接陶瓷片再连接环氧部分，其中间通过调节陶瓷片厚度及角度来控制探针角度及与待测件间的距离，同时起到抑制系统噪声的作用；

3）将传输微波信号的探针连接SMA接头从而连接微波电缆传输微波信号；同时将传输直流信号的探针对地并联相应容值的贴片电容，起到防止自激得作用，直流探针用一根线引出以方便加电；

4）将接地探针与PCB接地部分短接,以保证探卡的接地性能；

5）取现有探针，在其外包裹一层绝缘层，外边再包裹一层金属层以用于接地，作为微波针的同轴针，在针尖处将原探针针尖露出以方便扎针，该同轴针的使用使相应传输的微波信号免受干扰；

6）SMA接线柱的连接处接地，尽量保证微波信号免受干扰；

7）SMA接线柱位置，其相临的两个接线柱的相距距离要大于相应的微波测试电缆的直径距离，用错位的方法排布SMA接线柱，克服探卡位置的局限性；

8）在探卡上设置定位孔，其定位孔的直径略大于探针座定位孔直径，以方便探卡角度作一些微调；

9）探针座定位孔数量为3个，而探卡的定位孔为4个，有利于调整探卡的横向位置。

2.如权利要求1所述的适用于数模混合电路在片测试探卡，特征是其使用方法包括如下步骤：

1）探针进行测试时，在一块探卡上同时实现多路直流与微波信号的传输；

2）根据待测芯片管脚分布进行安排调整探针分布；

3）应用于晶圆级在片数模混合电路的在片筛测。