[发明专利]一种微观物料的转印刷方法及装置在审
| 申请号： | 201711153688.7 | 申请日： | 2017-11-20 |
| 公开（公告）号： | CN107910290A | 公开（公告）日： | 2018-04-13 |
| 发明（设计）人： | 许杨剑;潘常良;单庆鹏;马天杰;韩威;许雷;李攀磊;唐哲韬;赵帅;王效贵;梁利华 | 申请（专利权）人： | 浙江工业大学 |
| 主分类号： | H01L21/683 | 分类号： | H01L21/683;H01L21/78 |
| 代理公司： | 杭州之江专利事务所(普通合伙)33216 | 代理人： | 林蜀 |
| 地址： | 310014 浙江省杭*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种微观物料的转印刷方法，将待转移物料张紧，使待转移物料两端的夹紧角与物料垂直，将第二薄膜的粘结面与待转移物料粘结，保持第二薄膜两端的夹紧角为零，分离第二薄膜与待转移物料；将第二薄膜两端的夹紧角与薄膜垂直，保持第三薄膜两端的夹紧角为零，将第三薄膜的粘结面与第二薄膜粘结有物料的一面进行粘结，分离第三、第二薄膜，实现物料转印刷。一种微观物料的转印刷装置，包括基座，在基座上对称地铰接有两根支架，支架与支架间交叉地铰接有两根支撑杆；支架的末端铰接有夹头，夹头与旋转电机连接。本发明，通过调整薄膜的夹紧角，使其与物料间拉脱力大小产生变化，实现薄膜对物料粘结强度的控制，从而完成转印刷工作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 微观 物料 印刷 方法 装置 | ||
【主权项】：
一种微观物料的转印刷方法，将待转移物料张紧，其特征在于使待转移物料两端的夹紧角与物料垂直，将第二薄膜的粘结面与待转移物料粘结，保持第二薄膜两端的夹紧角为零，分离第二薄膜与待转移物料；将第二薄膜两端的夹紧角与薄膜垂直，保持第三薄膜两端的夹紧角为零，将第三薄膜的粘结面与第二薄膜粘结有物料的一面进行粘结，分离第三、第二薄膜，将物料转移到第三薄膜的粘结面。
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H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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