[发明专利]一种用于薄膜体声波压力传感器的无线无源温度补偿方法

摘要

本发明公开一种用于薄膜体声波压力传感器的无线无源温度补偿方法。一方面，将现有发射机的薄膜体声波传感器替换为一对并联的密封和非密封薄膜体声波器件；另一方面，将现有的有线有源的温度补偿的方法替换为无线无源的温度补偿的方法。相比于传统的压阻式压力传感器和电容式压力传感器，拥有高灵敏度和高分辨率，且通过频率的形式变现出来，具有受电磁干扰等影响较小的特点。

主权项

一种用于薄膜体声波压力传感器的无线无源温度补偿方法，其特征在于该方法具体是：1)将现有发射机的薄膜体声波传感器替换为一对并联的密封和非密封薄膜体声波传感器，且共同置于待测环境中；其中非密封薄膜体声波传感器仅受环境温度影响频率，密封薄膜体声波传感器仅受环境温度和压力影响频率；2)外界发送一个激励的问询信号，若问询信号的频率与薄膜体声波传感器的谐振频率一致，则此时传感器接收到的能量最大，激励传感器工作；3)传感器工作后，产生一个应答信号通过天线发送至接收电路部分；接收电路对应答信号进行解析和处理，得到密封传感器和非密封传感器各自的频率值；4)通过获得的非密封薄膜体声波传感器频率和已知的非密封薄膜体声波传感器温度系数，求出非密封薄膜体声波传感器的温度，即为当前传感器所处的环境温度；利用上述得到的环境温度，配合已知的密封薄膜体声波器件的温度系数和压力系数，进而求出密封薄膜体声波器件的压力值，即为当前传感器所处的环境压力值；从而实现了基于薄膜体声波压力传感器的无线无源温度补偿方法。