[发明专利]光谱仪和用于调整滤光器阵列的方法

摘要

用于尤其在250nm至1150nm的波长范围内接受光谱的光谱仪(1)，包括传感器阵列(4)和用于基于波长过滤辐射的滤光器阵列(5)，其中为了降低制造成本设置用于标记由滤光器阵列(5)覆盖的传感器像素的装置(13)，其具有非易失性存储器(14)，其中存储了滤光器阵列(5)关于传感器阵列(4)的坐标和/或滤光器阵列(5)关于传感器阵列(4)的坐标变换，以便借助所存储的坐标和/或坐标变换使传感器像素对应于各个滤光器像素(7)和/或激活各个滤光器像素(7)，根据哪些传感器像素由相应的滤光器像素(7)覆盖。

主权项

1.一种用于尤其在250nm至1150nm的波长范围内接受光谱的光谱仪(1)，包括：-布置在光谱仪(1)的正面上的半导体芯片(2)，-半导体芯片具有传感器阵列(4、20、30)，o所述传感器阵列布置在半导体芯片(2)的背面上，o所述传感器阵列包括至少两个传感器像素(21、22)的矩阵布置，o其中传感器像素(21、22)被设计用于探测电磁辐射，o其中传感器阵列(4、20、30)被设计用于背面照明，-用于基于波长来过滤辐射的滤光器阵列(5、31)，o其中滤光器阵列(5、31)包括至少两个滤光器像素(7、23、32)的矩阵布置，o其中每个滤光器像素(7、23、32)为了过滤形成了法布里-珀罗-干涉仪(6)，o其中滤光器阵列(5、31)朝向传感器阵列(4、20、30)的背面布置，-用于标记由滤光器阵列(5、31)覆盖的传感器像素(21、22)的装置(13)，具有：非易失性存储器(14)，其中存储了滤光器阵列(5、31)关于传感器阵列(4、20、30)的坐标和/或滤光器阵列(5、31)关于传感器阵列(4、20、30)的坐标变换，以便借助所存储的坐标和/或坐标变换根据哪些传感器像素(21、22)由相应的滤光器像素(7、23、32)覆盖使传感器像素(21、22)对应于单个滤光器像素(7、23、32)和/或激活单个滤光器像素(7、23、32)，其特征在于，用于标记由滤光器阵列(5、31)覆盖的传感器像素(21、22)的装置(13)被设计用于，借助存储的坐标和/或坐标变换而使分别在各个滤光器像素(7、23、32)的边缘处被覆盖的传感器像素(22)去激活，以便构成穿孔挡板(25)，从而不同的滤光器像素(7、23、32)的被过滤的光不会影响同一个传感器像素(21、22)。