[发明专利]一种喷墨打印技术中的半导体金属氧化物墨水及使用方法

摘要

本发明公开一种喷墨打印技术中的半导体金属氧化物墨水的优化工艺，属于氧化物半导体技术和印刷电子技术领域，该工艺通过掺杂的方式改善薄膜性能，且掺杂比例可调，掺杂效果显著。该溶液以半导体氧化物前驱体及其对应溶剂作为基础溶液，通过加入第二溶剂及相应的有机聚合物制备成复合溶液完成墨水掺杂。本发明制作的有源层采用喷墨打印的方式制作，与基础溶液相比，该有源层在溶液中通过复合溶剂实现金属氧化物前驱体与有机聚合物的均匀共混，在成膜的过程中有机聚合物明显改善了溶剂挥发后图案的不均匀形貌，在后续的热处理工艺中，有机聚合物的掺杂影响了前驱体转变为金属氧化物的过程，通过促进了导电沟道的形成提高了其电子的迁移率。

主权项

一种喷墨打印技术中的半导体金属氧化物墨水，其特征在于：该墨水以半导体金属氧化物前驱体溶液作为基础溶液，通过加入第二溶剂及有机聚合物完成共混掺杂并制备成复合溶液；所述的半导体金属氧化物前驱体材料由有机或无机的金属盐类组成，包含乙酰丙酮根离子、乙酸根离子、硝酸根离子、氯离子中的一种或多种阴离子；所述的有机聚合物在第二溶剂中的溶解性好，并具有稳定的化学性质且不与水氧以及墨水中的半导体金属氧化物前驱体有直接的化学反应；所述的第二溶剂包括酯类和酮类。