[发明专利]表面量测系统

摘要

一种表面量测系统，用以量测具低反射的表面的待测物。表面量测系统包含结露装置与量测装置。结露装置用以形成一液体层于待测物的表面上。结露装置包含腔体、控温气体源与增湿气体源。腔体用以容纳待测物。控温气体源连接至腔体，用以提供控温气体至腔体中以控制待测物的温度。增湿气体源连接至腔体，用以提供水气至腔体中以形成液体层于待测物的表面上。量测装置包含平台、光源与影像撷取装置。平台用以放置具有液体层的待测物。光源用以提供光束以照射平台上的待测物。影像撷取装置用以侦测自平台上的待测物散射的光束。通过在表面上形成液体层，可增加光束照射于表面上的散射量。因此影像具有高信噪比，表面能够被精准量测与提升量测速度。

主权项

1.一种表面量测系统，用以量测具低反射的表面的一待测物，其特征在于，该表面量测系统包含：一结露装置，用以形成一液体层于该待测物的该表面上，该结露装置包含：一腔体，用以容纳该待测物；一控温气体源，连接至该腔体，用以提供一控温气体至该腔体中以控制该待测物的温度；以及一增湿气体源，连接至该腔体，用以提供水气至该腔体中以形成该液体层于该待测物的该表面上；以及一量测装置，包含：一平台，用以放置具有该液体层的该待测物；一光源，用以提供一光束以照射该平台上的该待测物；以及一影像撷取装置，用以侦测自该平台上的该待测物散射的该光束。