[发明专利]表面量测系统

说明书

一种表面量测系统，用以量测具低反射的表面的待测物。表面量测系统包含结露装置与量测装置。结露装置用以形成一液体层于待测物的表面上。结露装置包含腔体、控温气体源与增湿气体源。腔体用以容纳待测物。控温气体源连接至腔体，用以提供控温气体至腔体中以控制待测物的温度。增湿气体源连接至腔体，用以提供水气至腔体中以形成液体层于待测物的表面上。量测装置包含平台、光源与影像撷取装置。平台用以放置具有液体层的待测物。光源用以提供光束以照射平台上的待测物。影像撷取装置用以侦测自平台上的待测物散射的光束。通过在表面上形成液体层，可增加光束照射于表面上的散射量。因此影像具有高信噪比，表面能够被精准量测与提升量测速度。

技术领域

本发明是有关于一种表面量测系统。

背景技术

随着科技的进步，越来越多的电子产品使用透明材质(如玻璃)作为产品组件(如手机面板、手机机壳、透镜)。为了确保品质，透明组件可经由量测而测得其表面形貌。然而透明材质具有低反射率的问题，若要量到足够准确的影像，需要增加量测的曝光时间与/或光源强度。若组件内部或底部具有瑕疵，也可能被量测到，导致信号误判。另外，若组件表面为曲面，也会有多重反射的情况发生。

发明内容

本发明的一方面提供一种表面量测系统，用以量测具低反射的表面的待测物。表面量测系统包含结露装置与量测装置。结露装置用以形成一液体层于待测物的表面上。结露装置包含腔体、控温气体源与增湿气体源。腔体用以容纳待测物。控温气体源连接至腔体，用以提供控温气体至腔体中以控制待测物的温度。增湿气体源连接至腔体，用以提供水气至腔体中以形成液体层于待测物的表面上。量测装置包含平台、光源与影像撷取装置。平台用以放置具有液体层的待测物。光源用以提供光束以照射平台上的待测物。影像撷取装置用以侦测自平台上的待测物散射的光束。

在一或多个实施方式中，结露装置还包含导流结构，置于腔体中。导流结构用以将控温气体与水气均匀的导向待测物上。

在一或多个实施方式中，导流结构包含扩散板与整流板。扩散板置于控温气体源的出气口前。扩散板置于整流板与控温气体源之间。整流板具有多个贯穿孔，用以将控温气体与水气的流向均匀化。

在一或多个实施方式中，导流结构还包含集气板，置于扩散板与整流板之间，用以集中控温气体与水气。

在一或多个实施方式中，集气板具有一通道。通道的宽度自扩散板至整流板的方向渐缩。

本发明的另一方面提供一种表面量测系统，用以量测具低反射的表面的待测物。表面量测系统包含控温装置、增湿装置与量测装置。控温装置包含控温腔体与控温气体源。控温腔体用以容纳待测物。控温气体源连接至控温腔体，用以提供控温气体至控温腔体中以控制待测物的温度。增湿装置包含增湿腔体与增湿气体源。增湿腔体用以容纳已控温的待测物。增湿气体源连接至增湿腔体，用以提供水气至增湿腔体中以形成液体层于待测物的表面上。量测装置包含平台、光源与影像撷取装置。平台用以放置具有液体层的待测物。光源用以提供光束以照射平台上的待测物。影像撷取装置用以侦测自平台上的待测物散射的光束。

在一或多个实施方式中，控温装置还包含导流结构，置于控温腔体中。导流结构用以将控温气体均匀的导向待测物上。

在一或多个实施方式中，导流结构包含扩散板与整流板。扩散板置于控温气体源的出气口前。扩散板置于整流板与控温气体源之间。整流板具有多个贯穿孔，用以将控温气体的流向均匀化。

在一或多个实施方式中，导流结构还包含集气板，置于扩散板与整流板之间，用以集中控温气体。

在一或多个实施方式中，集气板具有一通道。通道的宽度自扩散板至整流板的方向渐缩。

上述实施方式的表面量测系统通过在待测物的表面上形成液体层，以增加光束照射于表面上的散射量。如此一来，测得的影像具有高信噪比，因此表面能够被精准量测，亦可提升量测速度。

附图说明