[发明专利]一种多点微顶紧调平方法

摘要

本发明公开了一种多点微顶紧调平方法，首先将被测试样镶嵌在第二容置洞中，通过研磨、抛光，使得被测试样上表面同试样杯上边缘在同一平面。将试样杯装入第一容置洞中，通过螺栓连接台体上的连接孔与盖板上的连接孔，用螺丝刀顶紧所有通孔中顶丝，再顶紧通孔中顶丝。将台体放入纳米压痕仪的卡台中，通过显微镜观察微尺度正方形待测区域。本发明可以避免试样在纳米压痕仪的卡台中发生转动，不仅得到垂直于压入方向的平面，而且使得任意表面起伏度较大的试样被测微尺度的区域也可以垂直压入方向，解决了被测平面预压入方向不垂直带来的误差。通过机械调平方法实现，成本低廉、体积小，并同纳米压痕仪的卡台相结合，节省空间便与推广。

主权项

一种多点微顶紧调平方法，其特征在于：具体步骤如下：首先将被测试样镶嵌在第二容置洞(9)中，通过研磨、抛光，使得被测试样上表面同试样杯(8)上边缘在同一平面；将试样杯(8)装入第一容置洞(2)中，通过螺栓连接台体(1)上的连接孔(3，4，5，6)与盖板(10)上的连接孔(12，13，14，15)，用螺丝刀顶紧所有通孔(7)中顶丝，再顶紧通孔(16，17，18，19)中顶丝；将台体(1)放入纳米压痕仪的卡台中，通过显微镜观察微尺度正方形待测区域；分别聚焦待测区域水平左右侧中心点A和B，当A高于B时，用螺丝刀顶紧第四通孔(18)的顶丝直到A和B同高；当B高于A时，用螺丝刀顶紧第五通孔(19)的顶丝直到A和B同高；分别聚焦待测区域上下侧中心点C和D，当观察到C高于D时，用螺丝刀顶紧第二通孔(16)中顶丝直到C和D同高；当观察到C低于D时，用螺丝刀顶紧第三通孔(17)中顶丝直到C和D同高；台体(1)为调平台的主体结构，台体(1)的上部中心处开有第一容置洞(2)；盖板(10)的中心处开有观察窗(11)；台体(1)的四角处开有连接孔(3，4，5，6)，盖板(10)的四角处开有连接孔(12，13，14，15)，台体(1)的连接孔(3，4，5，6)与盖板(10)的连接孔(12，13，14，15)通过螺栓连接；第一容置洞(2)底部开有第一通孔(7)，盖板(10)四边中点位置开有第二通孔(16)、第三通孔(17)、第四通孔(18)、第五通孔(19)，通孔内均布有螺纹，螺纹与顶丝相配合；试样杯(8)放置在容置洞(2)内，试样杯(8)与第一容置洞(2)等高，试样杯(8)的外直径小于第一容置洞(2)的内直径，试样杯(8)的上部中心开有第二容置洞(9)。