[发明专利]一种集成式双光路激光电离效应模拟系统

摘要

本发明公开了一种集成式双光路激光电离效应模拟系统，该系统主要包括双波长脉冲激光器、双光路衰减模块、显微观察模块、测试与存储模块四个部分，该系统可实现532nm和1064nm双波长同时输出，既能自由灵活地切换两种波长的激光，又能利用二者的合束光对半导体器件的电离效应进行研究和验证，特别是针对伽马射线等辐射源作用于半导体器件剂量率效应的模拟，相比单波长模拟系统调节更加方便、受激光器波动影响更小、适用范围更加广泛。

主权项

一种集成式双光路激光电离效应模拟系统，其特征在于：包括调整底座（Ⅰ），光源（Ⅱ），双光路衰减模块（Ⅲ），显微观察模块（Ⅳ），测试与存储模块（Ⅴ）；其中：调整底座（Ⅰ），用于稳定支撑整个模拟系统；光源（Ⅱ）及双光路衰减模块（Ⅲ）用于产生双通道波长激光，并根据实际实验需求对两个通道的脉冲激光能量进行衰减；显微观察模块（Ⅳ）用于对半导体器件测试样品（20）进行成像，并对作用于半导体器件测试样品（20）的脉冲激光进行能量测量；测试与存储模块（Ⅴ）用于采集并记录半导体器件测试样品（20）辐射电离效应的响应电信号，通过控制精密位移平台来精确控制光斑作用于半导体器件测试样品（20）上的位置。