[发明专利]一种低价态氧化锆光学镀膜材料及制备方法在审
申请号: | 201711124597.0 | 申请日: | 2017-11-14 |
公开(公告)号: | CN107840657A | 公开(公告)日: | 2018-03-27 |
发明(设计)人: | 秦海波 | 申请(专利权)人: | 北京富兴凯永兴光电技术有限公司 |
主分类号: | C04B35/48 | 分类号: | C04B35/48;C04B35/65;H04M1/02;H04M1/18;G02B1/10 |
代理公司: | 北京市商泰律师事务所11255 | 代理人: | 毛燕生 |
地址: | 102629 北*** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 一种低价态氧化锆光学镀膜材料及制备方法,属于光学镀膜材料技术领域。含有以下步骤;按二氧化锆与金属锆粉的摩尔比ZrO250~90,金属锆粉10~50的比例进行配料及混合,造粒或压片,真空状态下烧结,烧结温度在1350℃~2000℃之间,形成导电性良好的低价氧化锆。本发明的优点是采用低价态氧化锆,在二氧化锆中添加金属锆粉或含金属锆粉的材料,随着金属锆含量的增大,混合物的熔点也随之降低。同时,由于二氧化锆在低于1000℃不导电,在制造ZrO2靶材料时,要求ZrO2有导电性能,因而,在ZrO2中引入一定的Zr,又可生成导电性的ZrOx,解决靶材生产中的导电性问题。 | ||
搜索关键词: | 一种 低价 氧化锆 光学 镀膜 材料 制备 方法 | ||
【主权项】:
一种低价态氧化锆光学镀膜材料,其特征在于二氧化锆与金属锆粉的摩尔配比:ZrO2:50~90,金属锆粉:10~50。
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