[发明专利]一种多棱角整板电极在审
| 申请号： | 201711113780.0 | 申请日： | 2017-11-13 |
| 公开（公告）号： | CN107706080A | 公开（公告）日： | 2018-02-16 |
| 发明（设计）人： | 郑志伟;廖文晗;陈磊;李志华 | 申请（专利权）人： | 珠海倍力高科科技有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 广州三环专利商标代理有限公司44202 | 代理人： | 温旭 |
| 地址： | 519000 广东省珠海市香洲区*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种多棱角整板电极，包括整板电极本体，所述整板电极本体的顶面与底面分别设置有凸起的棱角，所述棱角等间距的设置有多组，相邻的两个所述棱角的间距为10mm或15mm，所述棱角的最高点距整板电极本体的表层的距离为2mm。本发明通过在整板电极本体的侧部设置棱角，利用尖端放电的原理，在等离子清洗中，避免了棱角尖端部位附着清洗副产物，从而保证生产过程中清洗速度和均匀性的稳定，延长电极的使用周期。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 棱角 电极 | ||
【主权项】：
一种多棱角整板电极，包括整板电极本体(1)，其特征在于：所述整板电极本体(1)的顶面与底面分别设置有凸起的棱角(2)，所述棱角(2)等间距的设置有多组，相邻的两个所述棱角(2)的间距为10mm或15mm，所述棱角(2)的最高点距整板电极本体(1)的表层的距离为2mm。
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