[发明专利]基于谐振腔增强波导传输的高效波片有效
| 申请号： | 201711103664.0 | 申请日： | 2017-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN107765359B | 公开（公告）日： | 2020-04-21 |
| 发明（设计）人： | 韦欣;胡晓斌;李健;宋国峰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G02B5/30 | 分类号： | G02B5/30 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 喻颖 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 一种基于谐振腔增强波导传输的高效波片，包括：介质衬底；一维周期性金属‑介质‑金属波导层，设置于介质衬底上；介质包覆层，设置于一维周期性金属‑介质‑金属波导层上；其中，一维周期性金属‑介质‑金属波导层由一维周期性排布的金属和介质矩形条带构成；相邻金属矩形条带与位于相邻金属矩形条带中的介质矩形条带构成金属‑介质‑金属波导，在工作波段同时支持TE模式与TM模式传输；介质衬底与介质包覆层以及波导层共同构成法布里珀罗谐振腔。本发明的基于谐振腔增强波导传输的高效波片，具有转换效率高、工作波段宽的特点。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 谐振腔 增强 波导 传输 高效 | ||
【主权项】：
一种基于谐振腔增强波导传输的高效波片，其特征在于，包括：介质衬底；一维周期性金属‑介质‑金属波导层，设置于所述介质衬底上；介质包覆层，设置于所述一维周期性金属‑介质‑金属波导层上；其中，所述一维周期性金属‑介质‑金属波导层由交替排列的金属矩形条带与介质矩形条带构成；相邻的所述金属矩形条带与位于相邻的所述金属矩形条带之间的介质矩形条带构成金属‑介质‑金属波导，所述金属‑介质‑金属波导在工作波段内同时支持TE模式与TM模式的光传输；所述介质衬底与介质包覆层以及位于其间的波导层共同形成法布里珀罗谐振腔。
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