[发明专利]基于谐振腔增强波导传输的高效波片有效
| 申请号： | 201711103664.0 | 申请日： | 2017-11-10 |
| 公开（公告）号： | CN107765359B | 公开（公告）日： | 2020-04-21 |
| 发明（设计）人： | 韦欣;胡晓斌;李健;宋国峰 | 申请（专利权）人： | 中国科学院半导体研究所 |
| 主分类号： | G02B5/30 | 分类号： | G02B5/30 |
| 代理公司： | 中科专利商标代理有限责任公司 11021 | 代理人： | 喻颖 |
| 地址： | 100083 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 基于 谐振腔 增强 波导 传输 高效 | ||
1.一种基于谐振腔增强波导传输的高效波片，其特征在于，包括：
介质衬底；
一维周期性金属-介质-金属波导层，设置于所述介质衬底上；
介质包覆层，设置于所述一维周期性金属-介质-金属波导层上；
其中，
所述一维周期性金属-介质-金属波导层由交替排列的金属矩形条带与介质矩形条带构成；
相邻的所述金属矩形条带与位于相邻的所述金属矩形条带之间的介质矩形条带构成金属-介质-金属波导，所述金属-介质-金属波导在工作波段内同时支持TE模式与TM模式的光传输；
所述介质衬底与介质包覆层以及位于其间的波导层共同形成法布里珀罗谐振腔。
2.根据权利要求1所述的一种基于谐振腔增强波导传输的高效波片，其特征在于，入射光被散射耦合到所述金属-介质-金属波导中沿波导厚度方向以波导模式传输。
3.根据权利要求1所述的一种基于谐振腔增强波导传输的高效波片，其特征在于，所述金属矩形条带和介质矩形条带的宽度和厚度均在亚波长量级。
4.根据权利要求1所述的一种基于谐振腔增强波导传输的高效波片，其特征在于，所述基于谐振腔增强波导传输的高效波片工作波长范围为可见光到微波波段；
所述介质衬底、介质矩形条带和介质包覆层的材料为该波片工作波段内无吸收的介质；
所述金属矩形条带的材料为金、银、铜或铝。
5.根据权利要求1所述的一种基于谐振腔增强波导传输的高效波片，其特征在于，所述基于谐振腔增强波导传输的高效波片为四分之一波片或者半波片。
6.根据权利要求5所述的一种基于谐振腔增强波导传输的高效波片，其特征在于，所述介质衬底、介质矩形条带以及介质包覆层材料均为石英，所述金属矩形条带的材料为银，所述一维周期性金属-介质-金属波导层的厚度为600nm，所述介质矩形条带宽度为650nm，所述金属矩形条带宽度为150nm。
7.根据权利要求5所述的一种基于谐振腔增强波导传输的高效波片，其特征在于，所述介质衬底、介质矩形条带以及介质包覆层材料均为石英，所述金属矩形条带的材料为银，所述一维周期性金属-介质-金属波导层的厚度为1500nm，所述介质矩形条带宽度为650nm，所述金属矩形条带宽度为150nm。
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