[发明专利]一种高频段声表面波器件电极的制备方法有效
| 申请号： | 201711099282.5 | 申请日： | 2017-11-09 |
| 公开（公告）号： | CN107910438B | 公开（公告）日： | 2020-09-25 |
| 发明（设计）人： | 陈书明;王磊;张金英;宁希;池雅庆;陈哲;刘婧恬 | 申请（专利权）人： | 中国人民解放军国防科技大学 |
| 主分类号： | H01L41/29 | 分类号： | H01L41/29 |
| 代理公司： | 湖南兆弘专利事务所(普通合伙) 43008 | 代理人： | 周长清;胡君 |
| 地址： | 410073 湖南*** | 国省代码： | 湖南;43 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开一种高频段声表面波器件电极的制备方法，步骤包括：S1.在压电功能材料的衬底基片上使用负胶对待制备电极中叉指电极的轮廓进行曝光；S2.曝光显影后金属沉积，得到带有叉指电极轮廓图形的金属涂层；S3.将轮廓图形外的冗余金属层进行机械剥离，得到最终的对应叉指电极的密集图形；S4.使用正胶对待制备电极中汇流条和焊盘进行曝光、金属沉积；S5.对沉积后金属层使用溶脱工艺剥离冗余金属层，得到对应汇流条和焊盘的电极图形，完成电极的制备。本发明能够制备得到兼具高分辨密集图形和大尺寸图形的纳米SAW器件电极，且具有实现操作简单、成本低、制备效率及良率高、SAW电极质量高及通用性好等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 频段 表面波 器件 电极 制备 方法 | ||
【主权项】：
一种高频段声表面波器件电极的制备方法，其特征在于，步骤包括：S1. 在压电功能材料（2）的衬底基片上，使用负胶对待制备电极中叉指电极的指定较小面积区域的轮廓进行曝光；S2. 曝光显影后金属沉积，得到带有叉指电极轮廓图形的金属涂层；S3. 将所述轮廓图形外的冗余金属层进行机械剥离，得到最终的对应叉指电极的密集图形；S4. 使用正胶对待制备电极中汇流条和焊盘进行曝光、金属沉积；S5. 对沉积后金属层使用溶脱工艺剥离冗余金属层，得到对应汇流条和焊盘的电极图形，完成电极制备。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于中国人民解放军国防科技大学，未经中国人民解放军国防科技大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201711099282.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：用于光学介质的低功率模式信号桥接器
- 下一篇：用于生成电子页面的系统和方法
