[发明专利]一种柔性烧蚀电阻薄膜及其制备方法

摘要

本发明公开了一种柔性烧蚀电阻薄膜及其制备方法，该柔性烧蚀电阻薄膜包括柔性基底和烧蚀电阻薄膜，二者之间设有复合过渡层，其中复合过渡层包含有一交替沉积Si3N4层、AlN层和Al2O3层的周期性复合薄膜。其制备方法包括制备复合过渡层、制备烧蚀电阻薄膜。本发明柔性烧蚀电阻薄膜具有抗环境干扰能力强、可靠性水平高等优点，其制备方法具有制备工艺简单、环境适应性强、可靠性好等优点。本发明柔性烧蚀电阻薄膜能够应用于高超音速飞行器、固体火箭发动机等航天器的防热保护层中，可实现在高温、高热流冲刷等恶劣环境下的烧蚀量测量，对于提高高超音速飞行器、固体火箭发动机等航天器的应用可靠性具有重要意义。

主权项

1.一种柔性烧蚀电阻薄膜，其特征在于，所述柔性烧蚀电阻薄膜包括柔性基底（1）和烧蚀电阻薄膜（8）；所述柔性基底（1）与所述烧蚀电阻薄膜（8）之间设有复合过渡层；所述复合过渡层包含有一交替沉积Si3N4层（4）、AlN层（5）和Al2O3层（6）的周期性复合薄膜。