[发明专利]基于TSV的有机介质腔矩形波导滤波器及其制造方法有效
| 申请号： | 201711086641.3 | 申请日： | 2017-11-07 |
| 公开（公告）号： | CN107895830B | 公开（公告）日： | 2020-04-21 |
| 发明（设计）人： | 王凤娟;黄嘉;余宁梅 | 申请（专利权）人： | 西安理工大学 |
| 主分类号： | H01P1/207 | 分类号： | H01P1/207 |
| 代理公司： | 西安弘理专利事务所 61214 | 代理人： | 王奇 |
| 地址： | 710048*** | 国省代码： | 陕西;61 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： |
本发明公开了一种基于TSV的有机介质腔矩形波导滤波器，包括顶面金属层及底面金属层，顶面金属层及底面金属层沿纵向两侧分别连接有TSV侧壁金属层，构成一个纵向的立方体密封箱体，每侧的TSV侧壁金属层内表面沿纵向间隔安装有六个TSV虹膜，总共十二块TSV虹膜横向相对分成六组；在顶面金属层与两侧的半导体衬底、底面金属层与两侧的半导体衬底的交界处分别设置有SiO |
||
| 搜索关键词： | 基于 tsv 有机 介质 矩形波导 滤波器 及其 制造 方法 | ||
【主权项】：
一种基于TSV的有机介质腔矩形波导滤波器，其特征在于：包括顶面金属层(5)及底面金属层(6)，顶面金属层(5)及底面金属层(6)沿纵向两侧分别连接有TSV侧壁金属层(2)，构成一个纵向的立方体密封箱体，每侧的TSV侧壁金属层(2)内表面沿纵向间隔安装有六个TSV虹膜(3)，总共十二块TSV虹膜(3)横向相对分成六组；在顶面金属层(5)与两侧的半导体衬底(1)、底面金属层(6)与两侧的半导体衬底(1)的交界处分别设置有SiO2材料的填充块(7)。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于西安理工大学，未经西安理工大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201711086641.3/，转载请声明来源钻瓜专利网。
