[发明专利]激光干涉游标卡尺在审
| 申请号： | 201711069761.2 | 申请日： | 2017-11-01 |
| 公开（公告）号： | CN107560555A | 公开（公告）日： | 2018-01-09 |
| 发明（设计）人： | 闫洪一 | 申请（专利权）人： | 闫洪一 |
| 主分类号： | G01B11/04 | 分类号： | G01B11/04;G01B11/12;G01B11/08;G01B11/22;G01B5/04;G01B5/12;G01B5/08;G01B5/18 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 102218 北京市*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开一种激光干涉游标卡尺，是一种利用相干光源的干涉来测量长度的测量工具，可测长度、内外径以及深度，其测量精度小于1微米。其组成部分包括干涉模块、卡尺模块、光电计数及显示模块。干涉模块采用类似迈克尔逊干涉仪的光路，将激光器发出的光分为参考光和测量光，在光电计数器的探头形成干涉条纹；卡尺中游标尺在本体上的移动引起测量光光程变化，导致干涉条纹变化；用光电计数器计量条纹变化数，即可得到测量的长度数据。 | ||
| 搜索关键词： | 激光 干涉 游标卡尺 | ||
【主权项】：
一种激光干涉游标卡尺，其特征在于，组成部分包括：干涉模块、卡尺模块、光电计数及显示模块。
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