[发明专利]激光干涉游标卡尺

权利要求书

1.一种激光干涉游标卡尺，其特征在于，组成部分包括：干涉模块、卡尺模块、光电计数及显示模块。

2.权利要求项1所述的干涉模块包括激光源模块、分光镜以及反射镜，其特征在于激光源模块产生的激光束经过分光镜后分为两束，这两束光经过反射镜反射后再经过分光镜，可产生干涉条纹。

3.权利要求项1所述的卡尺模块包括卡尺本体和游标尺，其特征在于卡尺本体和游标尺上有可测内外径的测量爪；游标尺可在卡尺本体上自由移动。

4.权利要求项1所述的光电计数及显示模块，其特征在于光电计数器为可逆计数器，模块内部带数据处理电路，可以把计数转换为长度在显示屏上显示出来。

5.权利要求项2所述的激光源模块和分光镜均固定在游标尺上。

6.权利要求项2所述的反射镜，共有两个：其中一个固定在卡尺本体头部（带测量爪的一端）；另一个则固定在游标尺上。

7.权利要求项2所述的干涉条纹，投影在光电计数器的探头上。

8.权利要求项4所述的光电计数及显示模块，固定在游标尺上。

9.权利要求项5所述的激光源模块，包括激光器及扩束镜。

10.权利要求项6所述的固定在游标尺上的反射镜，和分光镜结合为一体。