[发明专利]声谐振器或滤波器设备的制造方法

摘要

本发明公开了一种用于使用改进的制作条件和周界结构修改的声谐振器或滤波器设备的结构和制造方法。在一个示例中，本方法可以包括形成具有不同几何区域和轮廓形状的金属电极，这些金属电极联接到衬底上面的压电层。这些金属电极还可以形成在具有变化几何区域的压电层或衬底的空腔内。结合具体的维度比例和离子注入，这类技术可以提高设备性能指标。在一个示例中，本方法可以包括形成围绕金属电极的各种类型的周界结构，该金属电极可以在压电层的顶部或底部。这些周界结构可以使用对形状、材料和连续性的多种修改的各种组合。这些周界结构还可以与沙洲结构、压电层空腔、先前讨论的几何变形组合以提高设备性能指标。

主权项

1.一种用于制造声谐振器或滤波器设备的方法，所述方法包括：提供具有衬底表面区域的衬底；在所述衬底表面区域的上面形成单晶压电层，所述单晶压电层具有顶部压电表面区域和底部压电表面区域；在所述顶部压电表面区域的上面形成顶部金属电极，所述顶部金属电极具有一个或多个顶部金属电极边缘，所述一个或多个顶部金属电极边缘的特征在于顶部电极边缘几何形状；在所述单晶压电层的一部分内形成顶部微沟槽；在所述顶部微沟槽内形成具有顶部金属插头的顶部金属；在所述衬底内形成使所述底部压电表面区域暴露的背部沟槽，所述背部沟槽在所述顶部金属电极和所述顶部微沟槽的下面；在所述背部沟槽内、在所述底部压电表面区域的下面或附近形成背部金属电极，所述背部金属电极电联接到所述顶部金属，所述背部金属电极具有一个或多个背部金属电极边缘，所述一个或多个背部金属电极边缘的特征在于背部电极边缘几何形状；形成用于电连接的至少两个金属焊盘，其中，至少一个金属焊盘电联接到所述顶部金属电极，且至少一个金属焊盘电联接到所述背部金属电极；以及在所述背部沟槽内、在所述底部压电表面区域的下面形成背部金属插头，所述背部金属插头电联接到所述顶部金属插头和所述背部金属电极，其中，所述顶部微沟槽、所述顶部金属插头和所述背部金属插头形成微通孔。