[发明专利]声谐振器或滤波器设备的制造方法

说明书

本发明公开了一种用于使用改进的制作条件和周界结构修改的声谐振器或滤波器设备的结构和制造方法。在一个示例中，本方法可以包括形成具有不同几何区域和轮廓形状的金属电极，这些金属电极联接到衬底上面的压电层。这些金属电极还可以形成在具有变化几何区域的压电层或衬底的空腔内。结合具体的维度比例和离子注入，这类技术可以提高设备性能指标。在一个示例中，本方法可以包括形成围绕金属电极的各种类型的周界结构，该金属电极可以在压电层的顶部或底部。这些周界结构可以使用对形状、材料和连续性的多种修改的各种组合。这些周界结构还可以与沙洲结构、压电层空腔、先前讨论的几何变形组合以提高设备性能指标。

相关申请的交叉引用

本申请出于所有目的而通过引用并入如下同时递交的、全部共同拥有的专利申请：在2014年6月6日递交的名称为“RESONANCE CIRCUIT WITH ASINGLE CRYSTALCAPACITOR DIELECTRIC MATERIAL”的美国专利申请No.14/298,057(代理方案号No.A969RO-000100US)，在2014年6月6日递交的名称为“METHOD OF MANUFACTURE FORSINGLE CRYSTAL CAPACITOR DIELECTRIC FOR A RESONANCE CIRCUIT”的美国专利申请No.14/298,076(代理方案号No.A969RO-000200US)，在2014年6月6日递交的名称为“INTEGRATED CIRCUIT CONFIGURED WITH TWO OR MORE SINGLE CRYSTAL ACOUSTICRESONATOR DEVICES”的美国专利申请No.14/298,100(代理方案号No.A969RO-000300US)，在2014年7月25日递交的名称为“WAFER SCALE PACKAGING”的美国专利申请No.14/341,314(代理方案号No.A969RO-000400US)，在2014年7月31日递交的名称为“MOBILECOMMUNICATION DEVICE CONFIGURED WITH A SINGLE CRYSTAL PIEZO RESONATORSTRUCTURE”的美国专利申请No.14/449,001(代理方案号No.A969RO-000500US)，在2014年8月26日递交的名称为“MEMBRANE SUBSTRATE STRUCTURE FOR SINGLE CRYSTAL ACOUSTICRESONATOR DEVICE”的美国专利申请No.14/469,503(代理方案号No.A969RO-000600US)，以及在2016年3月11日递交的名称为“METHOD OF MANUFACTURE FOR SINGLE CRYSTALACOUSTIC RESONATOR DEVICES USING MICRO-VIAS”的美国专利申请No.15/068,510(代理方案号No.A969RO-000700US)。

技术领域

本发明总体涉及电子设备。更具体地，本发明提供涉及用于体声波谐振器设备、单晶体声波谐振器设备、单晶滤波器和谐振器设备等的制造方法的技术。仅通过示例方式，本发明已应用于用于尤其通信设备、移动设备、计算设备的单晶谐振器设备。

背景技术

已成功地遍及全世界部署移动通信设备。在一年中制造超过10亿的移动设备(包括移动手机和智能手机)，而且单位容量继续逐年增长。随着4G/LTE在大约2012年的蔓延以及移动数据流量的激增，数据丰富的内容正在驱动智能手机领域的增长，这在未来几年内期望到达2B/年。新标准和遗留标准的共存以及对于更高数据速率要求的渴望正在驱动智能手机中的RF复杂度。遗憾地，传统的RF技术存在限制，这是有问题的且在未来可能导致弊端。

由上可见，用于改进电子设备的技术是高度引人注意的。

发明内容

根据本发明，提供了总体涉及电子设备的技术。更具体地，本发明提供涉及使用晶圆级技术的单晶声谐振器或滤波器。仅通过示例方式，本发明已应用于用于尤其通信设备、移动设备、计算设备的谐振器设备。