[发明专利]一种高纯透明的致密一氧化镍纳米薄膜制备方法有效
| 申请号： | 201711061511.4 | 申请日： | 2017-11-02 |
| 公开（公告）号： | CN107601916B | 公开（公告）日： | 2020-02-07 |
| 发明（设计）人： | 章建辉;施泽宇;韩季刚 | 申请（专利权）人： | 南京大学 |
| 主分类号： | C03C17/245 | 分类号： | C03C17/245 |
| 代理公司： | 32204 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) | 代理人： | 徐莹 |
| 地址： | 210008 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供了一种高纯透明的致密一氧化镍纳米薄膜制备方法，在空气气氛及电流条件下，利用离子溅射方法，在清洗干净的导电玻璃上，溅射氧化镍薄膜；将制得的氧化镍薄膜放入马沸炉中恒温加热，制得高纯透明的致密一氧化镍纳米薄膜。本发明利用离子溅射法制备一氧化镍纳米薄膜，方法简单，廉价，不需要复杂的设备和高真空，而且因为离子的高能量，所制备薄膜在衬底上附着力强；整个制备过程中除了金属镍和空气外，不引入任何其他反应物质，保证了产物的高纯度；所制得的一氧化镍薄膜高度透明，在太阳能的主要能量区，也就是整个可见光区，该薄膜都能保持高度透明；通过调控溅射时间，可以将薄膜在400纳米波长处的透明度，大范围地从62%连续调控到93%。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 高纯 透明 致密 氧化 纳米 薄膜 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种高纯透明的致密一氧化镍纳米薄膜制备方法，其特征在于：包括以下步骤：/n(1)在空气气氛及电流条件下，利用离子溅射方法，在清洗干净的导电玻璃上，溅射氧化镍薄膜，其中空气气氛的压强为18±4Pa，电流条件为8±2mA，溅射过程中镍靶的纯度为99.99％，溅射时间为8-160分钟；/n(2)将制得的氧化镍薄膜放入马沸炉中恒温加热，制得高纯透明的致密一氧化镍纳米薄膜，其中恒温加热温度为370℃，恒温时间1小时。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于南京大学，未经南京大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201711061511.4/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：上色玻璃的生产方法及上色玻璃
- 下一篇：一种二氧化钛基自清洁玻璃的制备方法
