[发明专利]一种衬底的探针卡在审
| 申请号： | 201711048460.1 | 申请日： | 2017-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN107942110A | 公开（公告）日： | 2018-04-20 |
| 发明（设计）人： | 陈建万 | 申请（专利权）人： | 陈建万 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 315315 浙江省宁*** | 国省代码： | 浙江;33 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 提供了一种用于测试半导体小片的探针卡。所述探针卡包括安装盘；以及多个衬底部分，由安装盘支撑。多个衬底部分由安装盘通过框架支撑。通过这种结构，可以提供由单个较小衬底部分的组合形成的相对较大尺寸的探针卡。因此，通过单个较小衬底部分的良好属性确保了大尺寸探针卡的理想的平整度特性、制造特性、以及位置容差。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 衬底 探针 | ||
【主权项】：
一种探针卡，包括：安装盘；以及多个衬底部分，由所述安装盘支撑。
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