[发明专利]一种衬底的探针卡在审
| 申请号： | 201711048460.1 | 申请日： | 2017-10-31 |
| 公开（公告）号： | CN107942110A | 公开（公告）日： | 2018-04-20 |
| 发明（设计）人： | 陈建万 | 申请（专利权）人： | 陈建万 |
| 主分类号： | G01R1/073 | 分类号： | G01R1/073 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 315315 浙江省宁*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 衬底 探针 | ||
【权利要求书】：
1.一种探针卡，包括：
安装盘；以及
多个衬底部分，由所述安装盘支撑。
2.根据权利要求1所述的探针卡，其中，所述多个衬底部分由所 述安装盘通过框架支撑。
3.根据权利要求2所述的探针卡，其中，所述框架包括：至少一 个偏置件，用于将每个所述衬底部分偏置到相对于所述框架的 第一位置，并用于弹性地适应所述衬底部分的热膨胀和收缩。
4.根据权利要求3所述的探针卡，其中，所述偏置件包括基于环 氧树脂的材料。
5.根据权利要求3所述的探针卡，其中，所述偏置件包括弹性元 件。
6.根据权利要求2所述的探针卡，其中，所述框架由具有低于大 约2.5*10-6英寸/英寸/华氏度的热膨胀系数的材料制成。
7.根据权利要求2所述的探针卡，其中，所述框架限定凹槽，所 述凹槽用于容纳所述多个衬底部分中的至少一个的边缘部分。
8.根据权利要求1所述的探针卡，进一步包括：印刷电路板，所 述安装盘位于所述印刷电路板与所述多个衬底部分之间。
9.根据权利要求1所述的探针卡，其中，所述安装盘是印刷电路 板。
10.根据权利要求1所述的探针卡，进一步包括：插入物，位于所 述安装盘与所述衬底部分之间。
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