[发明专利]一种带有可调型场板的高压二极管有效
| 申请号： | 201711036397.X | 申请日： | 2017-10-30 |
| 公开（公告）号： | CN107887427B | 公开（公告）日： | 2020-05-29 |
| 发明（设计）人： | 张春伟;李阳;付小倩;李志明;岳文静;李威;王靖博 | 申请（专利权）人： | 济南大学 |
| 主分类号： | H01L29/06 | 分类号： | H01L29/06;H01L29/40;H01L29/861 |
| 代理公司： | 济南圣达知识产权代理有限公司 37221 | 代理人： | 赵妍 |
| 地址： | 250022 山*** | 国省代码： | 山东;37 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种带有可调型场板的高压二极管，包括阴极金属，阳极金属，场氧化层和位于场氧化层下方的漂移区，在所述场氧化层的表面设置若干可调型场板，相邻两个可调型场板之间间隔设定距离；每一个可调型场板均连接调节电容；通过调节可调型场板和调节电容的正负电极的尺寸，能够调节可调型场板上的感应电位和感应电荷量，使得漂移区内获得均匀的表面电场分布。该结构器件可以改善器件漂移区表面电场分布，具有很高的耐压能力、很小的正向压降和很小的反向恢复时间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 带有 可调 型场板 高压 二极管 | ||
【主权项】：
一种带有可调型场板的高压二极管，包括：阴极金属，场氧化层和位于场氧化层下方的漂移区，其特征在于，在所述场氧化层的表面设置若干可调型场板，相邻两个可调型场板之间间隔设定距离；每一个可调型场板均连接调节电容；所述可调型场板与调节电容的正电极相连接，在所述调节电容正电极上方设置调节电容负电极；所有调节电容的负电极通过金属互连线与阴极金属连接；通过设置可调型场板和调节电容的正负电极的尺寸，能够调节可调型场板上的感应电位和感应电荷量，使得漂移区内获得均匀的表面电场分布。
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