[发明专利]一种薄膜透光均匀性检测装置及检测方法

摘要

本发明提供了一种薄膜透光均匀性检测装置，包括激光光源、工作台、光电探测器、信号调理单元、模数转换单元、数字锁相放大器、数模转换单元、控制单元；工作台设有样品台和圆孔，样品台可移动的覆盖在圆孔上，圆孔半径大于激光光源在该位置的光斑半径；激光光源与光电探测器分设在工作台两侧，使其中心连线垂直于工作台并从圆孔穿过；本发明还提供一种薄膜透光均匀性检测方法，数字锁相放大器产生初始信号对激光光源进行光强调制，调制后的激光通过圆孔透过薄膜，光电探测器接收所述激光并检测薄膜透光强度信息，进行光电转换，后经各个单元，最后由控制单元控制样平台移动，检测样品下一区域。本发明提高在弱光源和强光噪声环境下的检测准确度。

主权项

一种薄膜透光均匀性检测装置，其特征在于包括：激光光源、工作台、光电探测器、信号调理单元、模数转换单元、数字锁相放大器、数模转换单元、控制单元；所述工作台上设有样品台和圆孔，所述样品台可移动的覆盖在所述圆孔上，所述圆孔的半径大于所述激光光源在该位置的光斑半径；所述激光光源与所述光电探测器分设在所述工作台两侧，使其中心连线垂直于所述工作台并从所述圆孔穿过；所述光电探测器依次与所述信号调理单元、所述模数转换单元、所述数字锁相放大器、所述数模转换单元及所述激光光源电连接，所述控制单元与所述数字锁相放大器及所述工作台电连接；所述信号调理单元用于对光电信号进行放大和滤波；所述数字锁相放大器用于对所述激光光源进行光强调制及对薄膜均匀度待测信号检测；所述控制单元用于接收及显示检测结果，并控制带有样品的所述样品台移动至下一区域，进行检测。