[发明专利]一种薄膜透光均匀性检测装置及检测方法

权利要求书

1.一种薄膜透光均匀性检测装置，其特征在于包括：激光光源、工作台、光电探测器、信号调理单元、模数转换单元、数字锁相放大器、数模转换单元、控制单元；所述工作台上设有样品台和圆孔，所述样品台可移动的覆盖在所述圆孔上，所述圆孔的半径大于所述激光光源在该位置的光斑半径；所述激光光源与所述光电探测器分设在所述工作台两侧，使其中心连线垂直于所述工作台并从所述圆孔穿过；所述光电探测器依次与所述信号调理单元、所述模数转换单元、所述数字锁相放大器、所述数模转换单元及所述激光光源电连接，所述控制单元与所述数字锁相放大器及所述工作台电连接；

所述信号调理单元用于对光电信号进行放大和滤波；所述数字锁相放大器用于对所述激光光源进行光强调制及对薄膜均匀度待测信号检测；所述控制单元用于接收及显示检测结果，并控制带有样品的所述样品台移动至下一区域，进行检测。

2.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述圆孔始终处于所述样品台移动范围内。

3.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述数字锁相放大器包括基于FPGA的数字锁相放大器，其内部设有乘法器、低通滤波器、移相电路及DDS信号产生器，用于产生初始信号及对待测信号完成检测。

4.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述激光光源包括带有调制信号的半导体激光器，能射出一定频率信号的激光光强，所述激光光强频率为500Hz-20kHz。

5.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述工作台水平放置，其包括带圆孔的显微镜XY轴移动平台。

6.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述圆孔半径为4-8cm，所述激光光源在该位置的光斑半径为1.5-3cm。

7.根据权利要求1所述的装置，其特征在于，所述信号调理单元包括仪用运放和滤波器。

8.一种薄膜透光均匀性锁相检测方法，其特征在于，包括以下步骤：

S1将样品固定在样品台上，数字锁相放大器通电产生初始信号；

S2所述初始信号经数模转换单元对激光光源进行光强调制；

S3所述激光光源发射出调制后的激光，通过工作台上的圆孔透过薄膜；

S4光电探测器接收所述激光并检测薄膜透光强度的信息，进行光电转换；

S5信号调理单元对步骤S4产生的电信号进行放大和滤波；

S6步骤S5产生的信号经模数转换单元转换，将待测信号传送到所述数字锁相放大器中，与所述初始信号进行运算，随即传送至控制单元；

S7所述控制单元显示检测结果并控制带有样品的所述样品台移动至下一区域，进行检测。

9.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，所述数字锁相放大器包括基于FPGA的数字锁相放大器，其内部设有乘法器、低通滤波器、移相电路及DDS信号产生器，用于产生初始信号及对待测信号完成检测。

10.根据权利要求8所述的方法，其特征在于，所述激光光源包括带有调制信号的半导体激光器，能射出一定频率信号的激光光强，所述激光光强频率为500Hz-20kHz。