[发明专利]一种多晶硅片清洗制绒机烘干装置在审
| 申请号： | 201711006735.5 | 申请日： | 2017-10-25 |
| 公开（公告）号： | CN107957184A | 公开（公告）日： | 2018-04-24 |
| 发明（设计）人： | 邵玉林 | 申请（专利权）人： | 无锡琨圣科技有限公司 |
| 主分类号： | F26B21/00 | 分类号： | F26B21/00;F26B21/10 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙)11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 214000 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明属于半导体材料加工领域，公开了一种多晶硅片清洗制绒机烘干装置，设置有枪体，所述枪体的表面嵌装有温度显示装置，所述温度显示装置与枪体内部的加热器电连接；所述枪体的前端设置有烘干孔，所述烘干孔通过管道连通加热器；所述枪体的下端安装有开关，所述开关与加热器电连接。该多晶硅片清洗制绒机烘干装置可在多种环境下使用，能够在不同工况下合理控制耗电量，节省成本，增大企业效益；同时可以做到探入设备多角度烘干，节省时间，同时装置本身在10万级无尘车间中使用，保重了控干不存在污染。装置结构简单，方便操作者学习，满足了企业的需求。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 多晶 硅片 清洗 制绒机 烘干 装置 | ||
【主权项】：
一种多晶硅片清洗制绒机烘干装置，其特征在于：所述多晶硅片清洗制绒机烘干装置设置有枪体，所述枪体的表面嵌装有温度显示装置，所述温度显示装置与枪体内部的加热器电连接；所述枪体的前端设置有烘干孔，所述烘干孔通过管道连通加热器；所述枪体的下端安装有开关，所述开关与加热器电连接。
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