[发明专利]检测装置、搅拌器及脱泡方法有效
申请号: | 201711000662.9 | 申请日: | 2017-10-24 |
公开(公告)号: | CN107596939B | 公开(公告)日: | 2020-05-05 |
发明(设计)人: | 胡云波 | 申请(专利权)人: | 武汉华星光电半导体显示技术有限公司 |
主分类号: | B01F5/10 | 分类号: | B01F5/10;B01F7/18;B01F13/10;B01F15/00;B01F15/06;B01D19/00;G01L11/00 |
代理公司: | 广州三环专利商标代理有限公司 44202 | 代理人: | 郝传鑫;熊永强 |
地址: | 430070 湖北省武汉市东湖新技术*** | 国省代码: | 湖北;42 |
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摘要: | 本发明涉及液晶显示器制造领域,配向膜药液脱泡工艺所应用的一种检测装置,含该装置的搅拌器及与本检测装置对应的脱泡方法。通过在所述配向膜药液搅拌脱泡的过程中,采用取液泵所述配向膜药液提取,并由喷头将所述配向膜药液进行喷射,同时检测仪采集所述喷头的压力变化曲线,最后得出所述配向膜药液内气体含量是否达标的判定结论。本发明检测装置将当前仅靠经验数据而确定的脱泡工序持续时间,变为了可实时检测且受控的脱泡工序持续时间,节约工序用时,提高整个制程的良品率。 | ||
搜索关键词: | 检测 装置 搅拌器 脱泡 方法 | ||
【主权项】:
一种检测装置,安装在搅拌容器上,用于对处于搅拌脱泡工序中的配向膜药液气泡含量进行检测,其特征在于:包含取液泵、喷嘴和测压仪,所述取液泵从所述搅拌容器中提取所述配向膜药液,并由所述喷嘴喷出,所述测压仪用于检测所述喷嘴在喷出过程中的压力变化。
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