[发明专利]一种靶材的机械加工方法及产品有效
申请号: | 201710998126.6 | 申请日: | 2017-10-24 |
公开(公告)号: | CN107584245B | 公开(公告)日: | 2019-05-03 |
发明(设计)人: | 姚力军;潘杰;王学泽;范文新 | 申请(专利权)人: | 宁波江丰电子材料股份有限公司 |
主分类号: | B23P13/00 | 分类号: | B23P13/00 |
代理公司: | 北京超凡志成知识产权代理事务所(普通合伙) 11371 | 代理人: | 王闯 |
地址: | 315000 浙江省宁波市余姚*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | 本发明涉及靶材加工技术领域,具体而言,涉及一种靶材的机械加工方法及产品。本发明靶材的机械加工方法,采用盘刀,结合特定加工工艺及参数,能够有效避免靶材在加工过程中出现变形和振动的情况,有效提高所得靶材产品的平面度、平行度以及表面质量。 | ||
搜索关键词: | 一种 机械 加工 方法 产品 | ||
【主权项】:
1.一种靶材的机械加工方法,其特征在于,采用盘刀对靶材进行机械加工,该方法包括如下步骤:a.粗加工平面:主轴转速为4000‑6000r/s;给进量为3000‑5000mm/min;背吃刀量为0.3‑0.5mm;b.精铣外形:主轴转速为2000‑4000r/s;给进量为3000‑4000mm/min;背吃刀量为0.4‑0.6mm;c.半精加工平面:主轴转速为4000‑6000r/s;给进量为3000‑4000mm/min;背吃刀量为0.1‑0.3mm;d.精加工平面:主轴转速为4000‑6000r/s;给进量为100‑300mm/min;背吃刀量为0.03‑0.07mm。
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