[发明专利]一种基于微型液压放大的隧道磁阻式加速度计装置有效
| 申请号： | 201710975734.5 | 申请日： | 2017-10-19 |
| 公开（公告）号： | CN107807255B | 公开（公告）日： | 2020-02-18 |
| 发明（设计）人： | 杨波;王斌龙;李成;高小勇;冯雨 | 申请（专利权）人： | 东南大学 |
| 主分类号： | G01P15/08 | 分类号： | G01P15/08 |
| 代理公司： | 南京苏高专利商标事务所(普通合伙) 32204 | 代理人： | 柏尚春 |
| 地址： | 210000*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种基于微型液压放大的隧道磁阻式加速度计装置，包括顶层加速度转换结构、中间层液压放大结构和底层信号敏感结构，顶层加速度转换结构包括质量块、质量块基板；中间层液压放大结构包括屏蔽膜、液压放大器、液压放大结构体；底层信号敏感结构包括隧道磁阻励磁结构、第一隧道磁阻传感器、第二隧道磁阻传感器、间距调整电极、绝缘层、基座。本发明的基于微型液压放大的隧道磁阻式加速度计装置，基于微型液压放大和间隙改变磁场强度的隧道磁阻式加速度计首次在加速度计上集成微型液压放大器，既保证上部质量块可以获得较大的运动角度(大量程)，又通过液压放大器放大位移，具有结构简单、灵敏度高、测量精度高等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 基于 微型 液压 放大 隧道 磁阻 加速度计 装置 | ||
【主权项】：
一种基于微型液压放大的隧道磁阻式加速度计装置，其特征在于：包括顶层加速度转换结构、中间层液压放大结构和底层信号敏感结构，中间层液压放大结构位于顶层加速度转换结构和底层信号敏感结构之间，中间层液压放大结构通过屏蔽膜(5)与顶层加速度计转换结构相连接且通过屏蔽膜(9、11)与底层信号敏感结构相连接。
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