[发明专利]离子注入方法及离子注入装置

摘要

本发明提供一种离子注入方法及离子注入装置。本发明的课题在于以高精确度迅速调整离子束的能量。所述离子注入方法具备以下步骤：测定从根据暂定的高频参数进行动作的高能量多级线性加速单元输出的离子束的射束能量的步骤；基于测定出的射束能量调整高频参数的值的步骤；及使用从根据经调整的高频参数进行动作的高能量多级线性加速单元输出的离子束来进行离子注入的步骤。暂定的高频参数对至少包含最终级的一部分级的高频谐振器赋予与赋予设计上的最大加速的高频参数的值不同的值。调整步骤包括变更对至少包括最终级的一部分级的高频谐振器设定的电压振幅及相位中的至少一方的步骤。

主权项

1.一种离子注入方法，其使用具备高能量多级线性加速单元的离子注入装置，所述离子注入方法的特征在于，所述高能量多级线性加速单元具有多级高频谐振器，且构成为根据确定各级的高频谐振器的电压振幅、频率及相位的高频参数进行动作，所述离子注入方法具备以下步骤：测定从根据暂定的高频参数进行动作的所述高能量多级线性加速单元输出的离子束的射束能量的步骤；基于测定出的射束能量，调整高频参数的值，以便得到目标射束能量的步骤；及使用从根据经调整的高频参数进行动作的所述高能量多级线性加速单元输出的离子束进行离子注入的步骤，所述暂定的高频参数被确定为对所述多级高频谐振器中至少包括最终级的一部分级的高频谐振器赋予与赋予设计上的最大加速的高频参数的值不同的值，所述调整步骤包括变更对所述至少包括最终级的一部分级的高频谐振器设定的电压振幅及相位中的至少一方的步骤。