[发明专利]一种超高真空兼容的低温强磁场原位输运装置

摘要

本发明公开了一种超高真空兼容的低温强磁场原位输运装置，属于真空仪器设备领域。该装置由特殊定制的低温强磁场系统、超高真空腔系统、表面调控系统和支撑系统组成。本发明的核心部分在于超高真空腔系统、表面调控系统；超高真空系统上下分别与特殊定制的低温强磁场系统和表面调控系统连接，其中超高真空系统由主腔体、商用泵体组成，而主腔体则由空心圆柱状的304或316不锈钢加工而成，主腔体上气密焊有法兰接口，可以与操作杆、晶振膜厚监测装置等功能模块采用CF法兰的方式固定；表面调控系统由特制差分抽气旋转平台、特制大法兰、微调平移台、主操作杆和各种表面科学装置组成，彼此之间通过CF法兰的方式固定。本发明将传统物性测量装置与表面科学装置相结合，从而实现样品在超高真空与低温强磁场环境中的原位输运测量。

主权项

一种超高真空兼容的低温强磁场原位输运装置，其特征在于，包括特殊定制的低温强磁场系统、超高真空腔系统、表面调控系统和支撑系统几部分组成。特殊定制的低温强磁场系统与超高真空腔系统主腔体通过法兰进行连接；超高真空腔系统主腔体与表面调控系统的特制差分抽气旋转平台通过法兰进行连接；低温强磁场系统、超高真空腔系统和表面调控系统连接成为整体通过支撑系统固定在楼板地面。