[发明专利]用于测试晶圆的探针卡在审
| 申请号： | 201710932056.4 | 申请日： | 2017-10-10 |
| 公开（公告）号： | CN107741513A | 公开（公告）日： | 2018-02-27 |
| 发明（设计）人： | 朱鹏;张藏文 | 申请（专利权）人： | 德淮半导体有限公司 |
| 主分类号： | G01R1/067 | 分类号： | G01R1/067 |
| 代理公司： | 中国国际贸易促进委员会专利商标事务所11038 | 代理人： | 马景辉 |
| 地址： | 223300 江苏*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本公开涉及用于测试晶圆的探针卡。一种用于测试晶圆的探针卡，包括探针尖，用于接触晶圆；以及施加装置，用于将清洁液施加到所述探针尖上。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 测试 探针 | ||
【主权项】：
一种用于测试晶圆的探针卡，其特征在于，包括：探针尖，用于接触晶圆；以及施加装置，用于将清洁液施加到所述探针尖上。
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