[发明专利]非接触式表面轮廓扫描装置在审
| 申请号: | 201710930238.8 | 申请日: | 2017-10-09 |
| 公开(公告)号: | CN109631792A | 公开(公告)日: | 2019-04-16 |
| 发明(设计)人: | 陈盈运;谢宜君;许晋荣 | 申请(专利权)人: | 和全丰光电股份有限公司 |
| 主分类号: | G01B11/24 | 分类号: | G01B11/24 |
| 代理公司: | 厦门市新华专利商标代理有限公司 35203 | 代理人: | 朱凌 |
| 地址: | 中国台湾新北*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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| 摘要: | 本发明公开了一种非接触式表面轮廓扫描装置,包括至少一雷射光产生装置、至少一光学元件、多个开口部、一设于待测物侧处的第一接收元件、及一设于第一接收元件侧处且与第一接收元件信息连接的运算装置,雷射光产生装置会发射雷射光,雷射光通过光学元件上的开口部,这些开口部的间距为0.3微米至10毫米,以雷射光扫描待测物后反射至第一接收元件,该第一接收元件距离该待测物的垂直高度为40毫米至5000毫米,该待测物反射雷射光至该第一接收元件的夹角为10度至85度,光学元件可将雷射光变成一条至多条雷射光,使第一接收元件可一次接收到一个至多个立体信息,第一接收元件接收雷射光后将信息传至运算装置以三角测量法快速且准确地建构该待测物的轮廓。 | ||
| 搜索关键词: | 接收元件 雷射光 待测物 光学元件 开口部 表面轮廓 产生装置 非接触式 扫描装置 运算装置 反射 发射雷射光 三角测量法 立体信息 信息连接 一次接收 夹角为 建构 垂直 扫描 | ||
【主权项】:
1.一种非接触式表面轮廓扫描装置,其特征在于,主要包括:至少一供以雷射光扫描一待测物的雷射光产生装置;至少一设于该雷射光产生装置上的光学元件,该光学元件包含多个开口部,且这些开口部的间距为0.3微米至10毫米;一设于该待测物侧处的第一接收元件,该第一接收元件距离该待测物的垂直高度为40毫米至5000毫米,且该待测物反射雷射光至该第一接收元件的夹角为10度至85度;及一设于该第一接收元件侧处且与该第一接收元件信息连接的运算装置,所述运算装置以三角测量法建构该待测物的轮廓。
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