[发明专利]非接触式表面轮廓扫描装置在审
| 申请号: | 201710930238.8 | 申请日: | 2017-10-09 |
| 公开(公告)号: | CN109631792A | 公开(公告)日: | 2019-04-16 |
| 发明(设计)人: | 陈盈运;谢宜君;许晋荣 | 申请(专利权)人: | 和全丰光电股份有限公司 |
| 主分类号: | G01B11/24 | 分类号: | G01B11/24 |
| 代理公司: | 厦门市新华专利商标代理有限公司 35203 | 代理人: | 朱凌 |
| 地址: | 中国台湾新北*** | 国省代码: | 中国台湾;71 |
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| 摘要: | |||
| 搜索关键词: | 接收元件 雷射光 待测物 光学元件 开口部 表面轮廓 产生装置 非接触式 扫描装置 运算装置 反射 发射雷射光 三角测量法 立体信息 信息连接 一次接收 夹角为 建构 垂直 扫描 | ||
1.一种非接触式表面轮廓扫描装置,其特征在于,主要包括:
至少一供以雷射光扫描一待测物的雷射光产生装置;
至少一设于该雷射光产生装置上的光学元件,该光学元件包含多个开口部,且这些开口部的间距为0.3微米至10毫米;
一设于该待测物侧处的第一接收元件,该第一接收元件距离该待测物的垂直高度为40毫米至5000毫米,且该待测物反射雷射光至该第一接收元件的夹角为10度至85度;及
一设于该第一接收元件侧处且与该第一接收元件信息连接的运算装置,所述运算装置以三角测量法建构该待测物的轮廓。
2.如权利要求1所述的非接触式表面轮廓扫描装置,其特征在于:该雷射光产生装置下方设有一供置放该待测物的置物件。
3.如权利要求2所述的非接触式表面轮廓扫描装置,其特征在于:该置物件侧处设有一供该置物件移动的第一移动件。
4.如权利要求3的所述的非接触式表面轮廓扫描装置,其特征在于:该第一移动件上活动设有至少一第二接收元件,且该第二接收元件的位置低于该第一接收元件的位置。
5.如权利要求4所述的非接触式表面轮廓扫描装置,其特征在于:该第二接收元件一侧处设有至少一供反射该雷射光至该第二接收元件的反射元件。
6.如权利要求4所述的非接触式表面轮廓扫描装置,其特征在于:该第一接收元件及该第二接收元件为变焦镜头或定焦镜头。
7.如权利要求2所述的非接触式表面轮廓扫描装置,其特征在于:该置物件上设有一供该待测物旋转的轴体。
8.如权利要求1所述的非接触式表面轮廓扫描装置,其特征在于:该运算装置侧处设有一与该运算装置信息连接的显示元件。
9.如权利要求1所述的非接触式表面轮廓扫描装置,其特征在于:该第一接收元件侧处设有至少一供该第一接收元件移动的第二移动件。
10.如权利要求1所述的非接触式表面轮廓扫描装置,其特征在于:各开口部的间距为一供该雷射光由点光源变成线光源的固定间距。
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